[发明专利]蒸发磁控溅射多用镀膜机有效
| 申请号： | 202210952731.0 | 申请日： | 2022-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN115011944B | 公开（公告）日： | 2022-10-18 |
| 发明（设计）人： | 孟凡杰 | 申请（专利权）人： | 怡通科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/35;C23C14/24 |
| 代理公司： | 潍坊中润泰专利代理事务所(普通合伙) 37266 | 代理人： | 田友亮 |
| 地址： | 261041 山东省潍坊市奎*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了蒸发磁控溅射多用镀膜机，包括加工架，加工架上表面的一侧连接有放卷辊，放卷辊的表面缠绕有ITO膜基材层，加工架上表面的中心处固定连接有与ITO膜基材层传动配合的冷却辊，冷却辊上设置有冷却机构，加工架上表面远离放卷辊的一侧固定连接有与ITO膜基材层传动配合的收卷辊，收卷辊上连接有用于驱动收卷辊的驱动机构，加工架上设置有与冷却辊和ITO膜基材层配合使用的镀膜机构。本发明可利用磁控溅射技术和蒸发镀膜技术相结合的方式，对ITO膜基材层进行高效且高标准镀膜处理，同时磁控镀膜腔室和蒸发箱为单独分布，避免出现镀膜干涉。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发 磁控溅射 多用 镀膜 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于怡通科技有限公司，未经怡通科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210952731.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
