[发明专利]蒸发磁控溅射多用镀膜机

权利要求书

1.蒸发磁控溅射多用镀膜机，包括加工架（1），其特征在于：所述加工架（1）上表面的一侧连接有放卷辊（2），所述放卷辊（2）的表面缠绕有ITO膜基材层（3），所述加工架（1）上表面的中心处固定连接有与ITO膜基材层（3）传动配合的冷却辊（4），所述冷却辊（4）上设置有冷却机构（5），所述加工架（1）上表面远离放卷辊（2）的一侧固定连接有与ITO膜基材层（3）传动配合的收卷辊（6），所述收卷辊（6）上连接有用于驱动收卷辊（6）的驱动机构，所述加工架（1）上设置有与冷却辊（4）和ITO膜基材层（3）配合使用的镀膜机构（7），所述加工架（1）的两侧均开设有配合槽，所述镀膜机构（7）包括蒸发镀膜部件和对称设置的两个磁控溅射镀膜部件，所述磁控溅射镀膜部件包括磁控溅射镀膜机（71）和与ITO膜基材层（3）配合使用的喷射头（73），两个所述磁控溅射镀膜机（71）固定连接于配合槽内，两个所述喷射头（73）对应连通设置于两个磁控溅射镀膜机（71）相正对的侧壁上，所述蒸发镀膜部件包括与冷却辊（4）配合使用的蒸发箱（74）和真空泵（76），所述蒸发箱（74）嵌合于加工架（1）的中心处，所述真空泵（76）通过管道连通于蒸发箱（74）的侧壁上，所述蒸发箱（74）远离真空泵（76）的侧壁上固定连接有电加热器（77），所述电加热器（77）的出气端连通有与ITO膜基材层（3）配合使用的加热架（78），所述加热架（78）固定连接于蒸发箱（74）内壁上；所述冷却机构（5）包括若干喷嘴（55）、制冷机（52）和气泵（53），所述制冷机（52）和气泵（53）均固定连接于冷却辊（4）的内腔中，所述气泵（53）连通于制冷机（52）的出气端，所述气泵（53）的出气端连通有环形架（54），所述喷嘴（55）均匀固定连接于环形架（54）上，所述冷却辊（4）的圆周外壁上开设有若干喷孔（51），所述喷孔（51）与喷嘴（55）的数量相同且一一对应，若干所述喷嘴（55）活动插设于对应的喷孔（51）内。

2.根据权利要求1所述的蒸发磁控溅射多用镀膜机，其特征在于：两个所述磁控溅射镀膜机（71）相正对的一侧均固定连接有与加工架（1）相配合的隔离板，所述隔离板、ITO膜基材层（3）和磁控溅射镀膜机（71）配合形成磁控镀膜腔室（72），所述喷射头（73）设置于对应的磁控镀膜腔室（72）内。

3.根据权利要求1所述的蒸发磁控溅射多用镀膜机，其特征在于：所述喷射头（73）靠近ITO膜基材层（3）的一侧固定连接有导流罩（11）。

4.根据权利要求1所述的蒸发磁控溅射多用镀膜机，其特征在于：所述蒸发箱（74）上中心对称连接有四个温度传感器（75），每个所述温度传感器（75）的感应端均贯穿蒸发箱（74）侧壁且伸入蒸发箱（74）内。

5.根据权利要求1所述的蒸发磁控溅射多用镀膜机，其特征在于：所述蒸发箱（74）的顶部开设有密封槽（8），所述冷却辊（4）密封传动于密封槽（8）内。

6.根据权利要求1-5中任一所述的蒸发磁控溅射多用镀膜机，其特征在于：所述驱动机构包括收卷电机（9）和减速机（10），所述收卷电机（9）固定连接于加工架（1）上，所述减速机（10）连接于收卷电机（9）的输出端，所述收卷辊（6）通过减速机（10）连接于收卷电机（9）的输出端。

7.根据权利要求1所述的蒸发磁控溅射多用镀膜机，其特征在于：所述蒸发箱（74）内对称转动连接有两个与ITO膜基材层（3）传动配合的转向辊（13），所述蒸发箱（74）上对称开设有两个与转向辊（13）相配合的传动槽（12）。

8.根据权利要求1所述的蒸发磁控溅射多用镀膜机，其特征在于：所述加热架（78）顶部的四周均开设有加热孔（14），所述加热架（78）的横截面积大于密封槽（8）的横截面积。