[发明专利]定位标记、掩膜板及光刻定位方法在审
| 申请号： | 202210936058.1 | 申请日： | 2022-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN115167086A | 公开（公告）日： | 2022-10-11 |
| 发明（设计）人： | 惠利省;杨国文;白龙刚 | 申请（专利权）人： | 度亘激光技术（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00;G03F7/20;G03F1/42 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 杨萌 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工业园*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种定位标记、掩膜板及光刻定位方法，涉及光刻技术领域，包括第一透明区、第二透明区和测距结构；所述第一透明区为弧形，所述第一透明区具有第一弧形边缘；所述第二透明区设置在所述第一弧形边缘朝向所述第一透明区外部的一侧，所述第二透明区能够观察所述第一弧形边缘与工件边缘是否重叠；所述测距结构能够测量沿第一方向线所述第一弧形边缘与工件边缘之间的距离。能够使工件实现沿第一方向线的方向上对准，用户可以根据沿第一方向线第一弧形边缘与工件边缘之间的距离调整工件位置，使调整工件位置过程更加准确和便捷。 | ||
| 搜索关键词： | 定位 标记 掩膜板 光刻 方法 | ||
【主权项】：
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