[发明专利]定位标记、掩膜板及光刻定位方法

权利要求书

1.一种定位标记，其特征在于，包括第一透明区、第二透明区和测距结构；

所述第一透明区为弧形，所述第一透明区具有第一弧形边缘；

所述第二透明区设置在所述第一弧形边缘朝向所述第一透明区外部的一侧，所述第二透明区能够观察所述第一弧形边缘与工件边缘是否重叠；

所述测距结构能够测量沿第一方向线所述第一弧形边缘与工件边缘之间的距离。

2.根据权利要求1所述的定位标记，其特征在于，所述第二透明区与所述第一透明区连通并形成阶梯结构。

3.根据权利要求2所述的定位标记，其特征在于，所述测距结构包括多个刻度线，多个所述刻度线沿第一方向线均匀间隔设置；

位于多个所述刻度线中一端的刻度线设置在所述第一透明区内，位于多个所述刻度线中另一端的刻度线设置在所述第二透明区内。

4.根据权利要求2所述的定位标记，其特征在于，所述第二透明区为弧形；

所述第二透明区具有相对设置的第二弧形边缘和第三弧形边缘；所述第二弧形边缘与所述第一弧形边缘共线设置；

所述第一弧形边缘所属圆的圆心与所述第三弧形边缘所属圆的圆心沿第一方向线间隔设置，所述第一弧形边缘的半径、所述第二弧形边缘的半径和所述第三弧形边缘的半径相等，所述第二透明区形成所述测距结构。

5.根据权利要求4所述的定位标记，其特征在于，所述第二透明区为多个；

多个所述第二透明区中的第三弧形边缘所属圆的圆心沿第一方向线均匀间隔设置，且多个所述第二透明区依次连通并形成阶梯结构；多个所述第二透明区形成所述测距结构。

6.根据权利要求1所述的定位标记，其特征在于，所述第二透明区为弧形；

所述第二透明区具有相对设置的第二弧形边缘和第三弧形边缘；所述第二弧形边缘与所述第一弧形边缘共线设置；

所述第一弧形边缘所属圆的圆心与所述第三弧形边缘所属圆的圆心沿第一方向线间隔设置；沿所述第一弧形边缘的周向，所述第一透明区与所述第二透明区间隔设置；所述第一弧形边缘的半径、所述第二弧形边缘的半径和所述第三弧形边缘的半径相等；所述第二透明区形成所述测距结构。

7.根据权利要求6所述的定位标记，其特征在于，所述第二透明区为多个；

多个所述第二透明区中的第三弧形边缘所述圆的圆心沿第一方向线均匀间隔设置；

相邻的两个第二透明区中靠近第一透明区设置的为第二透明区a，远离所述第一透明区设置的为第二透明区b，沿所述第二透明区a的第三弧形边缘的周向，所述第二透明区a与所述第二透明区b间隔设置，所述第二透明区a的第三弧形边缘与所述第二透明区b的第二弧形边缘共线设置；多个所述第二透明区形成所述测距结构。

8.根据权利要求1-7中任一项所述的定位标记，其特征在于，所述第一透明区具有两个相对设置的第一弧形边缘；

两个所述第一弧形边缘朝向所述第一透明区外部的一侧均设有第二透明区。

9.一种掩膜板，其特征在于，包括权利要求1-8中任一项所述的定位标记。

10.一种光刻定位方法，使用权利要求1-8中任一项所述的定位标记或权利要求9所述的掩膜板进行光刻定位，其特征在于，包括以下步骤：

通过第一透明区和第二透明区观察预选的第一弧形边缘与工件边缘是否重叠；

预选的第一弧形边缘与工件边缘重叠时，工件与掩膜板对准；

预选的第一弧形边缘与工件边缘不重叠时，通过测距结构观察沿第一方向线预选的第一弧形边缘与工件边缘之间的距离，并根据沿第一方向线预选的第一弧形边缘与工件边缘之间的距离调整工件位置，以使预选的第一弧形边缘与工件边缘重叠。