[发明专利]一种旋转氧化锆靶材及其制备方法有效
| 申请号： | 202210897437.4 | 申请日： | 2022-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN114990486B | 公开（公告）日： | 2022-10-18 |
| 发明（设计）人： | 杨永添;吴健;周昭寅;刘芳 | 申请（专利权）人： | 广州市尤特新材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/35 |
| 代理公司： | 广州一锐专利代理有限公司 44369 | 代理人： | 金兆松 |
| 地址： | 510000 广东省广州*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及氧化锆靶材技术领域，具体公开了一种旋转氧化锆靶材，包括以下重量份原料：氧化锆粉20‑30份、改性碳纳米管协配剂10‑15份、稀土调配剂6‑10份、硅灰石改性处理液35‑45份。本发明硅灰石的针状结构具有填补效果，协配金属铌，不仅增强产品的密度性能，同时也改善了产品的导电性，通过改性碳纳米管协配剂、稀土调配剂和硅灰石改性处理液之间的协配，共同增强产品之间的密度、导电性，以及导电稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 旋转 氧化锆 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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