[发明专利]一种旋转氧化锆靶材及其制备方法

权利要求书

1.一种旋转氧化锆靶材，其特征在于，包括以下重量份原料：

氧化锆粉20-30份、改性碳纳米管协配剂10-15份、稀土调配剂6-10份、硅灰石改性处理液35-45份；所述改性碳纳米管协配剂的制备方法为：

S01：将10-20份碳纳米管加入到25-35份去离子水中，分散均匀，得到碳纳米管分散液；

S02：将1-3份盐酸加入到5-10份壳聚糖溶液中，随后加入2-5份十六烷基三甲基溴化铵，搅拌混合充分，得到添加处理剂；

S03：将添加处理剂、碳纳米管分散液按照重量比1:6搅拌混合，然后再加入添加处理剂总量2-6%的硫酸镧，以500-1000r/min的转速搅拌20-30min，搅拌结束，水洗、干燥得到改性碳纳米管协配剂；所述硅灰石改性处理液的制备方法为：

S11：将30-40份硅灰石加入到50-60份丙酮中分散均匀，然后加入6-9份浓硝酸，超声分散处理，最后再水洗、干燥；

S12：将3-6份硅溶胶加入到10-20份海藻酸钠溶液中分散搅拌均匀，然后再加入1-5份烷基磺酸钠，搅拌混合充分，得到改性剂；

S13：将金属铌、S11的产物按照重量比1:8混合加入到足量的改性剂中，于55-65℃下搅拌反应20-30min，反应转速为300-400r/min，搅拌结束、得到硅灰石改性处理液。

2.根据权利要求1所述的一种旋转氧化锆靶材，其特征在于，所述旋转氧化锆靶材包括以下重量份原料：

氧化锆粉25份、改性碳纳米管协配剂12.5份、稀土调配剂8份、硅灰石改性处理液40份。

3.根据权利要求1所述的一种旋转氧化锆靶材，其特征在于，所述壳聚糖溶液的质量分数为8-14%。

4.根据权利要求1所述的一种旋转氧化锆靶材，其特征在于，所述稀土调配剂为氧化钇、氧化钕、氧化铈中的一种或多种组合物。

5.根据权利要求1所述的一种旋转氧化锆靶材，其特征在于，所述海藻酸钠溶液的质量分数为10-15%。

6.根据权利要求1所述的一种旋转氧化锆靶材，其特征在于，所述超声分散以350-400W的功率进行超声处理3-6min。

7.一种如权利要求1-6任一项所述旋转氧化锆靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤一，将氧化锆粉、改性碳纳米管协配剂、稀土调配剂进行混合，得到混配料；

步骤二，然后加入到硅灰石改性处理液中分散搅拌处理，搅拌充分、再水洗、过滤、干燥，得到氧化锆靶材基料；

步骤三，选择基体层，然后进行打磨处理，再喷涂镍铬铝合金粉，形成镀层，镀层厚度为0.1mm；

步骤四，将氧化锆靶材基料采用磁控溅射真空镀膜机溅射到镀层上，制成旋转氧化锆靶材。

8.根据权利要求7所述的一种旋转氧化锆靶材的制备方法，其特征在于，磁控溅射真空镀膜机的工艺条件为：以氩气为工作气体，溅射温度185-190℃，溅射时间1.2-1.3h，真空度4-6Pa，靶基距为6.2-6.5cm。