[发明专利]一种用于微小零件的专用型阴极平台在审
| 申请号： | 202210883986.6 | 申请日： | 2022-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN115287615A | 公开（公告）日： | 2022-11-04 |
| 发明（设计）人： | 匡国庆 | 申请（专利权）人： | 镇江市德利克真空设备科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 镇江基德专利代理事务所(普通合伙) 32306 | 代理人： | 刘兰 |
| 地址： | 212216 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及镀膜设备技术领域，且公开了一种用于微小零件的专用型阴极平台，解决了靶材厚度减小后，使得对柔性基材表面的镀膜率降低，从而造成靶材浪费的问题，其包括底座，所述底座的顶端安装有中部板，中部板的两侧对称安装有阴极体，阴极体的底端等距安装于绝缘支架，阴极体的顶端开设有环形槽；本发明，在工作中，通过设置的齿条移动后，带动转块转动，而转块两端的螺槽内部的螺杆内部开设有限位槽，限位板插接于限位槽内部，使得在转块转动后，带动螺杆横向移动，继而推动两侧的顶块顺着弧槽向上移动，从而将磁靴顶起，从而使得磁靴在靶材处的磁场增大，从而使得靶材对柔性基片的镀膜能力提高，使得靶材表面溅射距离增加。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 微小 零件 专用 阴极 平台 | ||
【主权项】：
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