[发明专利]一种用于微小零件的专用型阴极平台在审
申请号: | 202210883986.6 | 申请日: | 2022-07-26 |
公开(公告)号: | CN115287615A | 公开(公告)日: | 2022-11-04 |
发明(设计)人: | 匡国庆 | 申请(专利权)人: | 镇江市德利克真空设备科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35 |
代理公司: | 镇江基德专利代理事务所(普通合伙) 32306 | 代理人: | 刘兰 |
地址: | 212216 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 微小 零件 专用 阴极 平台 | ||
1.一种用于微小零件的专用型阴极平台,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)的顶端安装有中部板(2),中部板(2)的两侧对称安装有阴极体(3),阴极体(3)的底端等距安装于绝缘支架(4),阴极体(3)的顶端开设有环形槽(5),环形槽(5)的内部安装有磁靴(6),磁靴(6)的内部安装有磁铁,环形槽(5)的顶端安装有第一压板(7),第一压板(7)的顶端安装有第二压板(8),阴极体(3)的内部安装有调距机构(9)。
2.根据权利要求1所述的一种用于微小零件的专用型阴极平台,其特征在于:所述调距机构(9)包括横向调节组件(901)和纵向调节组件(902),其中横向调节组件(901)包括安装于底座(1)顶端的电机(9011),电机(9011)的输出轴顶端安装有转板(9012),转板(9012)的顶端安装有第一固定杆(9013),第一固定杆(9013)的外侧转动连接有转杆(9014),转杆(9014)的一端转动连接有第二固定杆(9015),第二固定杆(9015)的底端安装有连接杆(9016),连接杆(9016)的一侧对称安装有齿条(9017),齿条(9017)插接于齿条槽(9018)内部,齿条槽(9018)开设于阴极体(3)的内部。
3.根据权利要求2所述的一种用于微小零件的专用型阴极平台,其特征在于:所述纵向调节组件(902)包括等距开设于阴极体(3)内部的弧槽(9021),纵向调节组件(902)的内顶壁对称安装有固定环(9023),固定环(9023)的内部安装转块(9022),转块(9022)的外壁等角度开设有齿槽(9024),转块(9022)的两侧对称开设有螺槽(9025),螺槽(9025)的内部安装有螺杆(9026),螺杆(9026)的内部开设有限位槽(9027),限位槽(9027)的内部插接有限位板(9028),限位板(9028)的顶端与弧槽(9021)的内顶壁固定连接,螺杆(9026)的一侧安装有顶头(9029),顶头(9029)的一侧设有顶块(90210),顶块(90210)对称安装于弧槽(9021)内部,其中一个顶块(90210)的一侧安装有供气调节机构(10)。
4.根据权利要求3所述的一种用于微小零件的专用型阴极平台,其特征在于:所述齿条槽(9018)开设于齿槽(9024)下方,且齿条(9017)的顶端与齿槽(9024)啮合连接。
5.根据权利要求3所述的一种用于微小零件的专用型阴极平台,其特征在于:所述弧槽(9021)呈半圆环状,且弧槽(9021)的顶端贯穿至环形槽(5)内部,顶块(90210)与弧槽(9021)滑动连接,顶块(90210)底端开设有斜面。
6.根据权利要求3所述的一种用于微小零件的专用型阴极平台,其特征在于:所述供气调节机构(10)包括安装于其中一个顶块(90210)一侧的侧杆(1006),侧杆(1006)的一侧设有活动块(1007),活动块(1007)插接于活动槽(1005)的内部,且活动槽(1005)等距开设于阴极体(3)内部,活动块(1007)的一侧安装有弹簧(1008),活动块(1007)的一侧安装有顶杆(1009),顶杆(1009)贯穿至阴极体(3)的外部,且弹簧(1008)套接于顶杆(1009)外部,顶杆(1009)的一端安装有挡块(1010),挡块(1010)插接于调节槽(1004)内部,调节槽(1004)的两侧对称开设有连通槽(1002),连通槽(1002)的顶端开设有出气槽(1003),出气槽(1003)贯穿至中部板(2)的外部。
7.根据权利要求6所述的一种用于微小零件的专用型阴极平台,其特征在于:所述连通槽(1002)的底端开设有进气管槽(1001),进气管槽(1001)开设于中部板(2)内部,且进气管槽(1001)的两端安装有循环气管。
8.根据权利要求7所述的一种用于微小零件的专用型阴极平台,其特征在于:所述连通槽(1002)呈方形槽道设置,且连通槽(1002)的宽度与挡块(1010)的宽度相同,出气槽(1003)倾斜开设。
9.根据权利要求6所述的一种用于微小零件的专用型阴极平台,其特征在于:所述侧杆(1006)一端的延长线与弧槽(9021)的圆心相交,顶块(90210)的顶端与弧槽(9021)的顶端相平齐。
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