[发明专利]晶圆盒存储库坐标数据处理方法及系统在审
| 申请号： | 202210873536.9 | 申请日： | 2022-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN115131338A | 公开（公告）日： | 2022-09-30 |
| 发明（设计）人： | 杨复来;缪峰 | 申请（专利权）人： | 弥费实业（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00;G06T7/73;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京清大紫荆知识产权代理有限公司 11718 | 代理人： | 黄贞君;郑纯 |
| 地址： | 200131 上海市浦东新区中国（上海）*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种晶圆盒存储库坐标数据处理方法及系统，其中晶圆盒存储库坐标数据处理方法，包括以下步骤：采集晶圆盒存储库中目标阁位对应的目标图像；获取目标图像与目标阁位对应的原始图像之间的对比结果；根据对比结果确定目标阁位对应的坐标修正数据；根据坐标修正数据对目标阁位的坐标数据进行修正。通过晶圆存储库中阁位的新旧图像比对，可以快速获得修正数据，进而以及修正数据进行数据修正，数据处理过程简单，数据准确，以及可以实时地修正坐标数据，保证晶圆盒取放作业的作业精度，保障作业效率和安全，并且能够自动执行，降低人工作业强度。 | ||
| 搜索关键词： | 晶圆盒 存储 坐标 数据处理 方法 系统 | ||
【主权项】：
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