[发明专利]晶圆盒存储库坐标数据处理方法及系统

说明书

本发明提供了一种晶圆盒存储库坐标数据处理方法及系统，其中晶圆盒存储库坐标数据处理方法，包括以下步骤：采集晶圆盒存储库中目标阁位对应的目标图像；获取目标图像与目标阁位对应的原始图像之间的对比结果；根据对比结果确定目标阁位对应的坐标修正数据；根据坐标修正数据对目标阁位的坐标数据进行修正。通过晶圆存储库中阁位的新旧图像比对，可以快速获得修正数据，进而以及修正数据进行数据修正，数据处理过程简单，数据准确，以及可以实时地修正坐标数据，保证晶圆盒取放作业的作业精度，保障作业效率和安全，并且能够自动执行，降低人工作业强度。

技术领域

本说明书涉及半导体制造领域，具体涉及一种晶圆盒存储库坐标数据处理方法及系统。

背景技术

在半导体晶圆的生产过程中，需要专门的晶圆盒(Foup)的储存装置。由于洁净车间中的空间有限，实际生产中多采用立体存储的方式，配合自动存取装置，例如使用晶圆盒储存库来储存晶圆盒，配合堆垛机或AGV或工业搬送机器人等自动存取装置(也可称为取放机构)，提高晶圆盒取放的作业效率。

在晶圆盒储存库的内部，设置有多个阁位(或称晶圆盒载盘)，用于存放晶圆盒，还有多个阁位通常以阵列或单列(横向或竖向)的形式排布，便于集中管理和集中存放，并且能够节省晶圆盒存储库的内部空间。在生产和使用过程，由于重力沉降、安装或维护、取放晶圆盒过程中的碰撞等原因，阁位可能会发生偏移，使得实际位置和原始位置存在误差，而自动存取装置根据储存仓位原始位置的坐标数据执行取放作业，取放过程中可能会因为该误差而无法准确取放晶圆盒，引起作业停顿，影响作业效率，甚至可能会因为撞击或放置偏斜引起晶圆盒掉落，造成巨大的经济损失。

目前，多采用人工进入仓储柜内部检查阁位的位置，然后根据检修情况修正坐标数据。但是，由于阁位的数量多，晶圆盒存储库内部空间狭小，上方阁位距离地面高等原因，人工检修操作不便，劳动强度大，耗时长，影响洁净环境等，并且当执行人工检修时，需要取放机构停止晶圆盒取放作业，严重影响生产的连续性、生产效率等。

发明内容

鉴于现有技术存在的问题，本发明的目的在于提供一种晶圆盒存储库坐标数据处理方法及系统。其中，晶圆盒存储库坐标数据处理方法能够自动修正和更新晶圆盒储存储存阁位的坐标信息，保障晶圆盒的取放作业的效率和安全。

本说明书实施例提供以下技术方案：

一种晶圆盒存储库坐标数据处理方法，包括：

采集晶圆盒存储库中目标阁位对应的目标图像，所述目标图像中包含有用于表征晶圆盒取放于所述目标阁位上的位置信息；

获取所述目标图像与所述目标阁位对应的原始图像之间的对比结果；

根据所述对比结果确定所述目标阁位对应的坐标修正数据；

根据所述坐标修正数据对所述目标阁位的坐标数据进行修正。

在上述方案中，目标图像是新采集的、表示目标阁位的当前位置的图像，原始图像是修正过坐标数据的图像，即可以表征目标阁位正确坐标位置的图像，比如前一次作业时目标阁位所述位置的图像，也可以是在初始安装或位置校准后目标阁位所处位置的图像。通过比较目标图像和原始图像，得到图像之间的差别，来分析目标阁位的当前位置是否出现偏移，并能够根据偏移情况计算得到坐标修正数据，然后使用坐标修正数据修正先前的坐标数据，得到准确反映目标阁位当前位置信息的坐标数据，为晶圆盒的取放作业提供准确的作业参数，保证取放作业的作业精度和作业安全，避免出现撞击阁位或晶圆盒掉落的情况，而且，该坐标数据处理方法自动完成，无需中断取放作业，无需人员进入晶圆盒存储库内部，坐标修正的效率高，保证晶圆盒取放作业效率和生产的连续性。

本说明书实施例还提供一种方案，采集晶圆盒存储库中目标阁位对应的目标图像包括：针对目标阁位上预设的特征区域采集目标图像，所述特征区域包括用于表征所述目标阁位的预设特征的区域；