[发明专利]晶圆盒存储库坐标数据处理方法及系统

权利要求书

1.一种晶圆盒存储库坐标数据处理方法，其特征在于，包括：

采集晶圆盒存储库中目标阁位对应的目标图像，所述目标图像中包含有用于表征晶圆盒取放于所述目标阁位上的位置信息；

获取所述目标图像与所述目标阁位对应的原始图像之间的对比结果；

根据所述对比结果确定所述目标阁位对应的坐标修正数据；

根据所述坐标修正数据对所述目标阁位的坐标数据进行修正。

2.根据权利要求1所述的晶圆盒存储库坐标数据处理方法，其特征在于，采集晶圆盒存储库中目标阁位对应的目标图像包括：针对目标阁位上预设的特征区域采集目标图像，所述特征区域包括用于表征所述目标阁位的预设特征的区域；

获取所述目标图像与所述目标阁位对应的原始图像之间的对比结果，包括：

获取所述目标图像中的特征区域和所述原始图像中的特征区域之间的对比结果。

3.根据权利要求2所述的晶圆盒存储库坐标数据处理方法，其特征在于，所述特征区域包括以下至少一种存在于所述目标阁位中的特征形状所在区域：外侧轮廓、用于取放机构通过的中部避让部、用于对放置晶圆盒定位的定位部、用于标记位置信息的预设标识部。

4.根据权利要求1所述的晶圆盒存储库坐标数据处理方法，其特征在于，采集晶圆盒存储库中目标阁位对应的目标图像包括：

通过设置于存储库中预设位置的摄像装置采集晶圆盒存储库中目标阁位对应的目标图像；

其中，所述预设位置包括以下至少一种位置：存储库中预设固定位置、存储库中用于移动巡检的预设位置、取放机构上的预设位置。

5.根据权利要求1所述的晶圆盒存储库坐标数据处理方法，其特征在于，所述晶圆盒存储库坐标数据处理方法还包括：

根据第一目标阁位的所述坐标修正数据对第二目标阁位的坐标数据进行修正，其中所述第一目标阁位和所述第二目标阁位为相邻的目标阁位。

6.根据权利要求1所述的晶圆盒存储库坐标数据处理方法，其特征在于，所述晶圆盒存储库坐标数据处理方法还包括：确定所述坐标修正数据偏离预设阈值是否超过预设条件，并在所述坐标修正数据偏离预设阈值超过预设条件时，生成告警信息。

7.根据权利要求6所述的晶圆盒存储库坐标数据处理方法，其特征在于，所述晶圆盒存储库坐标数据处理方法还包括：根据所述告警信息将所述目标阁位的坐标数据标记为异常状态。

8.根据权利要求1所述的晶圆盒存储库坐标数据处理方法，其特征在于，在确定出所述目标阁位对应的坐标修正数据后，所述晶圆盒存储库坐标数据处理方法还包括：将所述目标图像替代所述原始图像。

9.根据权利要求1-8中任意一项所述的晶圆盒存储库坐标数据处理方法，其特征在于，所述晶圆盒存储库坐标数据处理方法还包括：获取取放机构的运动位置，并根据所述运动位置生成采集信号；

采集晶圆盒存储库中目标阁位对应的目标图像包括：根据所述采集信号，采集晶圆盒存储库中目标阁位对应的目标图像。

10.一种晶圆盒存储库坐标数据处理系统，其特征在于，包括：

图像采集单元，用于采集晶圆盒存储库中目标阁位对应的目标图像，所述目标图像中包含有用于表征晶圆盒取放于所述目标阁位上的位置信息；

图像比对单元，用于获取所述目标图像与所述目标阁位对应的原始图像之间的对比结果；

确定单元，用于根据所述对比结果确定所述目标阁位对应的坐标修正数据；

修正单元，用于根据所述坐标修正数据对所述目标阁位的坐标数据进行修正。

11.根据权利要求10所述的晶圆盒存储库坐标数据处理系统，其特征在于，所述图像采集单元包括设置于以下至少一种位置上的摄像装置：存储库中预设固定位置、存储库中用于移动巡检的预设位置、取放机构上的预设位置。