[发明专利]一种大功率高效半导体直冷机有效
申请号: | 202210872424.1 | 申请日: | 2022-07-20 |
公开(公告)号: | CN115164490B | 公开(公告)日: | 2023-03-10 |
发明(设计)人: | 王晓波;张安邦;高扬 | 申请(专利权)人: | 安徽中科新源半导体科技有限公司 |
主分类号: | F25D15/00 | 分类号: | F25D15/00;F25D29/00;F25B21/02 |
代理公司: | 深圳市康弘知识产权代理有限公司 44247 | 代理人: | 赵龙显 |
地址: | 230088 安徽省合*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明涉及半导体热电制冷技术领域,具体涉及一种大功率高效半导体直冷机,包括:壳体以及设置在壳体内的组合式热交换器,所述组合式热交换器内部包含冷、热两路液体流道;TANK箱,所述TANK箱安装在所述组合式热交换器的一侧;至少三个块状水槽,三个所述块状水槽分别安装在所述组合式热交换器的上侧、下侧以及所述TANK箱的顶部;磁力泵,所述磁力泵安装在壳体的底板上;带水槽支架,所述带水槽支架安装在所述壳体的底板上。本发明的有益效果是:本发明整体结构优化,外观尺寸做到更小,可以在更小空间安装,满足芯片制造厂无尘洁净室狭小的空间条件;在内部集成度高,运动部件减少,可靠性更高,降低了成本;同时安装方便,便于维护。 | ||
搜索关键词: | 一种 大功率 高效 半导体 直冷机 | ||
【主权项】:
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