[发明专利]一种大功率高效半导体直冷机有效

专利信息
申请号: 202210872424.1 申请日: 2022-07-20
公开(公告)号: CN115164490B 公开(公告)日: 2023-03-10
发明(设计)人: 王晓波;张安邦;高扬 申请(专利权)人: 安徽中科新源半导体科技有限公司
主分类号: F25D15/00 分类号: F25D15/00;F25D29/00;F25B21/02
代理公司: 深圳市康弘知识产权代理有限公司 44247 代理人: 赵龙显
地址: 230088 安徽省合*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明涉及半导体热电制冷技术领域,具体涉及一种大功率高效半导体直冷机,包括:壳体以及设置在壳体内的组合式热交换器,所述组合式热交换器内部包含冷、热两路液体流道;TANK箱,所述TANK箱安装在所述组合式热交换器的一侧;至少三个块状水槽,三个所述块状水槽分别安装在所述组合式热交换器的上侧、下侧以及所述TANK箱的顶部;磁力泵,所述磁力泵安装在壳体的底板上;带水槽支架,所述带水槽支架安装在所述壳体的底板上。本发明的有益效果是:本发明整体结构优化,外观尺寸做到更小,可以在更小空间安装,满足芯片制造厂无尘洁净室狭小的空间条件;在内部集成度高,运动部件减少,可靠性更高,降低了成本;同时安装方便,便于维护。
搜索关键词: 一种 大功率 高效 半导体 直冷机
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