[发明专利]一种大功率高效半导体直冷机

说明书

本发明涉及半导体热电制冷技术领域，具体涉及一种大功率高效半导体直冷机，包括：壳体以及设置在壳体内的组合式热交换器，所述组合式热交换器内部包含冷、热两路液体流道；TANK箱，所述TANK箱安装在所述组合式热交换器的一侧；至少三个块状水槽，三个所述块状水槽分别安装在所述组合式热交换器的上侧、下侧以及所述TANK箱的顶部；磁力泵,所述磁力泵安装在壳体的底板上；带水槽支架，所述带水槽支架安装在所述壳体的底板上。本发明的有益效果是：本发明整体结构优化，外观尺寸做到更小，可以在更小空间安装，满足芯片制造厂无尘洁净室狭小的空间条件；在内部集成度高，运动部件减少，可靠性更高，降低了成本；同时安装方便，便于维护。

技术领域

本发明涉及半导体热电制冷技术领域，具体涉及一种大功率高效半导体直冷机。

背景技术

现有运用于半导体芯片制造温度控制工艺的直冷机，请参阅图1和图2，主要零部件为热交换器A2-5、TANK箱A2-2、磁力泵A2-1、连接不锈钢管A2-3及管件A2-4，受制冷功率影响，大功率的直冷机，系统内设计两套或多套独立系统相组合运行。

原方案中使用两套系统独立设计双泵，受与进出口相连设备位置的影响，结构空间布局受限，所连接管道无法使用软连接，进而使用不锈钢硬管连接，造成磁力泵A2-5刚性连接，由于进出口管道连接配管尺寸存在公差，磁力泵A2-5本体受到不同方向应力，导致磁力泵A2-5的振动，磁力泵A2-5故障率高，且磁力泵A2-5管道接口长期受振动影响而易泄露；

整体内部存在冷热管共存，因受内部空间及结构限制，增加保温层生产工艺受限，导致冷热交换消耗，影响制冷、制热效率；

内部设备独立组合运行，硬性不锈钢管和管件零件多，布局受限，从而整体结构尺寸受限，无法满足部分现场安装需求；

泵与不锈钢管和管件系统，装配制造工序繁杂，生产效率低，可维修操作性差，维护保养不便；

内部双套系统独立运行，材料成本高。

发明内容

针对问题，本发明提供了一种大功率高效半导体直冷机，包括：

壳体以及设置在壳体内的组合式热交换器，所述组合式热交换器内部包含冷、热两路液体流道；

TANK箱，所述TANK箱安装在所述组合式热交换器的一侧；

至少三个块状水槽，三个所述块状水槽分别安装在所述组合式热交换器的上侧、下侧以及所述TANK箱的顶部；

磁力泵,所述磁力泵安装在壳体的底板上；

带水槽支架，所述带水槽支架安装在所述壳体的底板上，且块状水槽设置在带水槽支架上。

作为本发明的再进一步技术方案是：所述块状水槽包含冷端、热端两路水槽，冷端分别连接组合式热交换器的冷端出口和TANK箱的出口；还包括外接冷却水接头，热端分别连接有组合式热交换器的热端进、出口和外接冷却水接头的出、进口。

作为本发明的再进一步技术方案是：还包括软硬管转换接头，所述软硬管转换接头通过耐高低温丁晴橡胶软管与所述磁力泵的进口端相连接，磁力泵的出口端通过耐高低温丁晴橡胶软管与客户使用端连接。

作为本发明的再进一步技术方案是：所述软硬管转换接头安装在TANK箱的上方，所述软硬管转换接头与所述TANK箱之间通过孔联通，在其结合处使用O型圈密封。

作为本发明的再进一步技术方案是：所述组合式热交换器包括：

上壳体和下壳体；

中间换热模组，所述中间换热模组位于上壳体和下壳体之间；