[发明专利]粉末处理装置及粉末处理方法有效

专利信息
申请号: 202210852191.9 申请日: 2022-07-19
公开(公告)号: CN115142042B 公开(公告)日: 2023-05-05
发明(设计)人: 陈志嵩;左敏;赵昂璧;李翔 申请(专利权)人: 江苏微导纳米科技股份有限公司
主分类号: C23C16/44 分类号: C23C16/44;C23C16/455;C23C16/458
代理公司: 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 代理人: 柳芳
地址: 214000 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 本申请公开了一种粉末处理装置及粉末处理方法,粉末处理装置包括:第一筒体,其壁面间隔设有多个进气口,用于向所述第一筒体内通入气体;第二筒体,位于第一筒体内,第一筒体的内壁和第二筒体的外壁之间形成第一腔体,第一腔体包括相对设置的第一端部和第二端部;第二筒体内壁内形成第二腔体,第二腔体包括相对设置的第三端部和第四端部,第一端部和第三端部相邻且连通设置,第二端部和第四端部相邻且连通设置;进气口和第一腔体连通;输运机构,位于第二腔体内,用于将第二腔体内的粉末从第四端部运送至第三端部,以使得位于所述第三端部的所述粉末通过所述第一端部进入所述第一腔体内。本申请提供的粉末处理装置,能够提高镀膜效率。
搜索关键词: 粉末 处理 装置 方法
【主权项】:
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