[发明专利]粉末处理装置及粉末处理方法有效
| 申请号: | 202210852191.9 | 申请日: | 2022-07-19 |
| 公开(公告)号: | CN115142042B | 公开(公告)日: | 2023-05-05 |
| 发明(设计)人: | 陈志嵩;左敏;赵昂璧;李翔 | 申请(专利权)人: | 江苏微导纳米科技股份有限公司 |
| 主分类号: | C23C16/44 | 分类号: | C23C16/44;C23C16/455;C23C16/458 |
| 代理公司: | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人: | 柳芳 |
| 地址: | 214000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 粉末 处理 装置 方法 | ||
1.一种粉末处理装置,其特征在于,包括:
第一筒体,所述第一筒体的壁面间隔设有多个进气口,用于向所述第一筒体内通入气体;
第二筒体,位于所述第一筒体内,所述第一筒体的内壁和所述第二筒体的外壁之间形成第一腔体,所述第一腔体包括相对设置的第一端部和第二端部;所述第二筒体内壁内形成第二腔体,所述第二腔体包括相对设置的第三端部和第四端部,所述第一端部和所述第三端部相邻且连通设置,所述第二端部和所述第四端部相邻且连通设置;所述进气口和所述第一腔体连通;
输运机构,位于所述第二腔体内,用于将所述第二腔体内的粉末从所述第四端部运送至所述第三端部,以使得位于所述第三端部的所述粉末通过所述第一端部进入所述第一腔体内;
其中,所述第一筒体和所述第二筒体沿竖直方向延伸或所述第一筒体和所述第二筒体的延伸方向与竖直方向具有一定夹角,在所述第一腔体中,所述粉末靠重力下落;
其中,多个所述进气口沿所述第一筒体的轴线方向间隔设置。
2.根据权利要求1所述的粉末处理装置,其特征在于,所述第一腔体内设置有与所述第一腔体的轴线方向相交的至少一个斜面,所述粉末能在所述第一腔体内从所述第一端部沿所述斜面形成的路径运动至所述第二端部。
3.根据权利要求2所述的粉末处理装置,其特征在于,所述斜面包括间隔设置的第一斜板和第二斜板,所述第一斜板与所述第一筒体的内壁相连,所述第二斜板与所述第二筒体的外壁相连,每个所述第一斜板和第二斜板均对应一个所述进气口。
4.根据权利要求3所述的粉末处理装置,其特征在于,所述第一斜板和所述第一筒体的内壁围成第一隔腔,所述第二斜板和所述第二筒体的外壁围成第二隔腔;在所述第一腔体的轴向上,所述第一隔腔和所述第二隔腔间隔设置。
5.根据权利要求3所述的粉末处理装置,其特征在于,在从所述第一端部至所述第二端部的方向上,每个所述第一斜板与所述第二筒体的外壁之间的间隙逐渐减小,每个所述第二斜板与所述第一筒体的内壁之间的间隙逐渐减小。
6.根据权利要求2所述的粉末处理装置,其特征在于,所述斜面和所述第二筒体的壁面均包括滤网,所述滤网的滤孔直径小于所述粉末的直径。
7.根据权利要求1所述的粉末处理装置,其特征在于,所述进气口和供气机构相连,所述供气机构向所述进气口提供气体。
8.根据权利要求7所述的粉末处理装置,其特征在于,所述供气机构向相邻所述进气口提供不同的气体。
9.根据权利要求1所述的粉末处理装置,其特征在于,所述粉末处理装置还包括:
第三筒体,位于所述第二腔体内,所述第三筒体将所述第二腔体分隔为第三腔体和第四腔体,所述输运机构位于所述第四腔体内;
抽气机构,与所述第三腔体相连通,用于抽出所述第一腔体和所述第三腔体内的所述气体。
10.根据权利要求9所述的粉末处理装置,其特征在于,所述抽气机构包括抽真空机和导管,所述导管一端与所述抽真空机连接,另一端与所述第三腔体相连通。
11.根据权利要求9所述的粉末处理装置,其特征在于,所述粉末处理装置还包括:
位于所述第二端部的料筒和取料盖,所述料筒与所述第一筒体相连,所述料筒分别和所述第一腔体、所述第四腔体连通;所述取料盖位于所述料筒背对所述第一筒体的一侧,所述取料盖与所述料筒密封连接。
12.根据权利要求1所述的粉末处理装置,其特征在于,所述输运机构包括杆体、以及套设在所述杆体外的螺旋叶片,所述杆体和所述螺旋叶片固定相连,所述杆体能绕其轴线旋转。
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C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
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C23C16-02 .待镀材料的预处理
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C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的





