[发明专利]一种带阀门隔离蒸发室与卷绕室的电子束蒸发镀膜设备在审
| 申请号： | 202210848546.7 | 申请日： | 2022-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN115323330A | 公开（公告）日： | 2022-11-11 |
| 发明（设计）人： | 朱刚劲;朱刚毅 | 申请（专利权）人： | 广东腾胜科技创新有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;C23C14/56 |
| 代理公司： | 东莞高瑞专利代理事务所(普通合伙) 44444 | 代理人： | 杨英华 |
| 地址： | 526000 广东省肇庆市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种带阀门隔离蒸发室与卷绕室的电子束蒸发镀膜设备，包括真空容器，真空容器内设有卷绕室和蒸发室，在蒸发室上活动设有隔断蒸发室与卷绕室的阀盖板。本发明提供一种带阀门隔离蒸发室与卷绕室的电子束蒸发镀膜设备，通过阀盖板盖在蒸发室上，可保持蒸发室内的真空环境，可单独预熔，不影响卷绕室内收放卷材，节省生产时间，提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 阀门 隔离 蒸发 卷绕 电子束 镀膜 设备 | ||
【主权项】：
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