[发明专利]一种带阀门隔离蒸发室与卷绕室的电子束蒸发镀膜设备

说明书

本发明公开了一种带阀门隔离蒸发室与卷绕室的电子束蒸发镀膜设备，包括真空容器，真空容器内设有卷绕室和蒸发室，在蒸发室上活动设有隔断蒸发室与卷绕室的阀盖板。本发明提供一种带阀门隔离蒸发室与卷绕室的电子束蒸发镀膜设备，通过阀盖板盖在蒸发室上，可保持蒸发室内的真空环境，可单独预熔，不影响卷绕室内收放卷材，节省生产时间，提高生产效率。

技术领域

本发明涉及镀膜技术领域，尤其是一种带阀门隔离蒸发室与卷绕室的电子束蒸发镀膜设 备。

背景技术

电子束蒸发镀膜设备通过电子束加热蒸发材料，蒸发材料蒸发上升形成蒸发气流，该蒸 发气流上升镀制在卷绕室中通过的基材上。而目前的电子束蒸发镀膜设备结构上呈开放的结 构，电子束给蒸发材料加热预熔时，加热温度会向上蒸发，对蒸发材料的预熔加热时间较长， 影响生产效率。

发明内容

本发明的目的旨在提供一种带阀门隔离蒸发室与卷绕室的电子束蒸发镀膜设备，通过阀 盖板盖在蒸发室上，可保持蒸发室内的真空环境，可单独预熔，不影响卷绕室内收放卷材， 节省生产时间，提高生产效率。

为解决上述技术问题，本发明提供的技术方案是：一种带阀门隔离蒸发室与卷绕室的电 子束蒸发镀膜设备，包括真空容器，真空容器内设有卷绕室和蒸发室，在蒸发室上活动设有 隔断蒸发室与卷绕室的阀盖板。

本发明采用上述技术方案，卷材置于卷绕室中，蒸发室内放置蒸发材料并通过电子束蒸 发加热，产生蒸发气流，用于蒸发镀膜镀制在卷绕室中的卷材上。阀盖板活动设在蒸发室上， 用于隔断蒸发室与卷绕室，可在进行收放卷材时，隔断蒸发室，在蒸发室内通过电子束蒸发 预熔，对蒸发材料进行预熔加热，节约生产的时间，提高生产效率。在镀膜完成后，收取卷 材时，通过阀盖板阻断蒸发室与卷绕室，蒸发室中的残余蒸发材料及蒸发气流被限制在蒸发 室内，不会对已镀膜完成的卷材产生影响，保证镀膜质量。

上述的带阀门隔离蒸发室与卷绕室的电子束蒸发镀膜设备，真空容器侧壁设有气缸，气 缸的活塞杆与阀盖板连接，阀盖板可活动设在蒸发室顶端。气缸通过活塞杆控制阀盖板的运 动，气缸活塞杆伸出时控制阀盖板盖在蒸发室上，以割断蒸发室与卷绕室，通过气缸驱动阀 盖板动作可靠、迅速，可起到快速隔断的作用。

上述的带阀门隔离蒸发室与卷绕室的电子束蒸发镀膜设备，蒸发室包括底座、设于底座 内的蒸发坩埚，底座与真空容器内壁形成密封的腔室结构，底座上设有开口，阀盖板活动设 于开口处。底座与真空容器内形成的腔室结构组成蒸发室，蒸发室内产生的蒸发气流通过底 座行的开口处进入卷绕室，对卷材进行镀膜。阀盖板活动设在开口处，用于在镀膜结束时及 预熔蒸发材料时起隔断作用，在进行镀膜时阀盖板离开开口，起开阀作用。

上述的带阀门隔离蒸发室与卷绕室的电子束蒸发镀膜设备，底座的顶部设有导向轴承， 阀盖板活动在导向轴承上。

上述的带阀门隔离蒸发室与卷绕室的电子束蒸发镀膜设备，真空容器的侧壁设有电子枪， 电子枪发出的电子束射向蒸发坩埚。蒸发坩埚中设置蒸发材料，电子枪发出电子束，电子束 射向蒸发坩埚中的蒸发材料，通过加热蒸发材料，使蒸发材料形成蒸发气流，从底座顶部的 开口进入卷绕室内对卷材进行镀膜。

上述的带阀门隔离蒸发室与卷绕室的电子束蒸发镀膜设备，蒸发坩埚内设有偏转磁铁。 偏转磁铁用于产生磁场，对磁场中的电子产生电磁偏转，使电子束更好的射向蒸发材料，提 高蒸发效果。

上述的带阀门隔离蒸发室与卷绕室的电子束蒸发镀膜设备，在底座和蒸发坩埚的内腔可 充入循环的冷冻液。冷冻液用于冷却蒸发坩埚，避免蒸发坩埚过热损坏。

上述的带阀门隔离蒸发室与卷绕室的电子束蒸发镀膜设备，底座设有隔热材料。隔热材 料可在对蒸发材料进行加热预熔时，防止温度外泄，缩短预熔的时间，提高蒸发室的保温效 果。

上述的带阀门隔离蒸发室与卷绕室的电子束蒸发镀膜设备，蒸发坩埚上设有中频感应加 热系统。