[发明专利]一种带阀门隔离蒸发室与卷绕室的电子束蒸发镀膜设备

权利要求书

1.一种带阀门隔离蒸发室与卷绕室的电子束蒸发镀膜设备，包括真空容器(1)，真空容器(1)内设有卷绕室(1a)和蒸发室(1b)，其特征在于：在蒸发室(1b)上活动设有隔断蒸发室(1b)与卷绕室(1a)的阀盖板(12)。

2.根据权利要求1所述的带阀门隔离蒸发室与卷绕室的电子束蒸发镀膜设备，其特征在于：真空容器(1)侧壁设有气缸(15)，气缸(15)的活塞杆与阀盖板(12)连接，阀盖板(12)可活动设在蒸发室(1b)顶端。

3.根据权利要求1所述的带阀门隔离蒸发室与卷绕室的电子束蒸发镀膜设备，其特征在于：蒸发室(1b)包括底座(10)、设于底座(10)内的蒸发坩埚(6)，底座(10)与真空容器(1)内壁形成密封的腔室结构，底座(10)上设有开口(14)，阀盖板(12)活动设于开口(14)处。

4.根据权利要求3所述的带阀门隔离蒸发室与卷绕室的电子束蒸发镀膜设备，其特征在于：底座(10)的顶部设有导向轴承(13)，阀盖板(12)活动在导向轴承(13)上。

5.根据权利要求3所述的带阀门隔离蒸发室与卷绕室的电子束蒸发镀膜设备，其特征在于：真空容器(1)的侧壁设有电子枪(5)，电子枪(5)发出的电子束射向蒸发坩埚(6)。

6.根据权利要求5所述的带阀门隔离蒸发室与卷绕室的电子束蒸发镀膜设备，其特征在于：蒸发坩埚(6)内设有偏转磁铁(8)。

7.根据权利要求5所述的带阀门隔离蒸发室与卷绕室的电子束蒸发镀膜设备，其特征在于：在底座(10)和蒸发坩埚(6)的内腔可充入循环的冷冻液(9)。

8.根据权利要求3所述的带阀门隔离蒸发室与卷绕室的电子束蒸发镀膜设备，其特征在于：底座(10)设有隔热材料(11)。

9.根据权利要求3所述的带阀门隔离蒸发室与卷绕室的电子束蒸发镀膜设备，其特征在于：蒸发坩埚(6)上设有中频感应加热系统(19)。

10.根据权利要求9所述的带阀门隔离蒸发室与卷绕室的电子束蒸发镀膜设备，其特征在于：中频感应加热系统(19)包括感应加热线圈(17)和电极(18)，感应加热线圈(17)包覆在蒸发坩锅(6)上，电极(18)与感应加热线圈(17)电连接。

11.根据权利要求10所述的带阀门隔离蒸发室与卷绕室的电子束蒸发镀膜设备，其特征在于：蒸发坩埚(6)与中频感应加热系统(19)间设有隔热材料(11)。

12.根据权利要求1所述的带阀门隔离蒸发室与卷绕室的电子束蒸发镀膜设备，其特征在于：卷绕室(1a)中设有放卷系统(2)和收卷系统(16)，放卷系统(2)与收卷系统(16)之间设有镀膜辊(4)。

13.根据权利要求12所述的带阀门隔离蒸发室与卷绕室的电子束蒸发镀膜设备，其特征在于：真空容器(1)上设有真空抽气系统(3)。