[发明专利]一种分子泵在审
申请号: | 202210834383.7 | 申请日: | 2022-07-14 |
公开(公告)号: | CN115045846A | 公开(公告)日: | 2022-09-13 |
发明(设计)人: | 时剑文;李赏;郝猛 | 申请(专利权)人: | 北京中科科仪股份有限公司 |
主分类号: | F04D19/04 | 分类号: | F04D19/04;F04D25/06;F04D29/056;F04D29/32;F04D29/64 |
代理公司: | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人: | 柴美娟 |
地址: | 100190 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供的分子泵,属于泵体技术领域,包括:设置在泵壳内部的分子泵内转子和分子泵外转子;所述分子泵内转子和分子泵外转子在驱动机构的驱动下沿相反的方向转动;本发明的分子泵,通过分子泵内转子和分子泵外转子向相反的发向转动,提升了分子泵内转子和分子泵外转子的相对运动速度,即相对传统的分子泵的分子泵内转子和分子泵外转子速度翻倍,有效的提高分子泵抽气速度、压缩比、极限真空度及前级耐压能力等真空性能,还具有结构紧凑,效率高,节能环保等优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 分子 | ||
【主权项】:
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