[发明专利]一种分子泵

权利要求书

1.一种分子泵，其特征在于，包括：设置在泵壳(1)内部的分子泵内转子(4)和分子泵外转子(5)；所述分子泵内转子(4)和分子泵外转子(5)在驱动机构的驱动下沿相反的方向转动。

2.根据权利要求1所述的分子泵，其特征在于，所述驱动机构为双转子电机；所述双转子电机包括：沿相反的方向转动设置的电机内转子(6)和电机外转子(7)；所述电机内转子(6)与分子泵内转子(4)连接；所述电机外转子(7)与分子泵外转子(5)连接。

3.根据权利要求2所述的分子泵，其特征在于，还包括：

上轴承组，具有第一上轴承(8)和第二上轴承(9)；所述第一上轴承(8)的外圈与泵壳(1)连接，内圈与所述电机外转子(7)连接；所述第二上轴承(9)的外圈与所述电机外转子(7)连接，内圈与所述电机内转子(6)连接。

4.根据权利要求3所述的分子泵，其特征在于，还包括：

下轴承组，具有第一下轴承(10)和第二下轴承(11)；所述第一下轴承(10)的外圈与泵壳(1)连接，内圈与所述电机外转子(7)连接；所述第二下轴承(11)的外圈与所述电机外转子(7)连接，内圈与所述电机内转子(6)连接。

5.根据权利要求1所述的分子泵，其特征在于，所述泵壳(1)包括：上壳体(2)和下壳体(3)；所述上壳体(2)和所述下壳体(3)之间通过第一连接件连接。

6.根据权利要求5所述的分子泵，其特征在于，所述上壳体(2)和所述下壳体(3)之间设置有密封圈(12)。

7.根据权利要求1所述的分子泵，其特征在于，所述泵壳和所述分子泵外转子之间设置密封机构；所述密封机构为磁流体密封；磁流体密封的磁极片固定于泵壳的内圈的顶部，磁流体悬浮于磁极片和分子泵外转子的外圈之间。

8.根据权利要求2所述的分子泵，其特征在于，还包括：

泵底盖(14)，设置在泵壳(1)的底部；所述泵底盖(14)与所述泵壳(1)的底部通过第二连接件连接；所述双转子电机设置在所述泵底盖(14)上。