[发明专利]一种分子泵

说明书

本发明提供的分子泵，属于泵体技术领域，包括：设置在泵壳内部的分子泵内转子和分子泵外转子；所述分子泵内转子和分子泵外转子在驱动机构的驱动下沿相反的方向转动；本发明的分子泵，通过分子泵内转子和分子泵外转子向相反的发向转动，提升了分子泵内转子和分子泵外转子的相对运动速度，即相对传统的分子泵的分子泵内转子和分子泵外转子速度翻倍，有效的提高分子泵抽气速度、压缩比、极限真空度及前级耐压能力等真空性能，还具有结构紧凑，效率高，节能环保等优点。

技术领域

本发明涉及泵体技术领域，具体涉及一种分子泵。

背景技术

分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。随着分子泵在半导体、工业镀膜等行业的蓬勃发展，分子泵的应用越来越普遍。

分子泵通过高速旋转的多级涡轮转子叶片和静止叶片的组合进行抽气的，对被抽气体产生很高的压缩比，从而获得所需要的真空性能。

通过提高转子叶片和静止叶片的相对转速，进而可以提升分子泵的真空性能。

发明内容

因此，本发明为了提升分子泵的真空性能，从而提供一种分子泵。

本发明的分子泵，包括：设置在泵壳内部的分子泵内转子和分子泵外转子；所述分子泵内转子和分子泵外转子在驱动机构的驱动下沿相反的方向转动。

作为优选方案，所述驱动机构为双转子电机；所述双转子电机包括：沿相反的方向转动设置的电机内转子和电机外转子；所述电机内转子与分子泵内转子连接；所述电机外转子与分子泵外转子连接。

作为优选方案，还包括：

上轴承组，具有第一上轴承和第二上轴承；所述第一上轴承的外圈与泵壳连接，内圈与所述电机外转子连接；所述第二上轴承的外圈与所述电机外转子连接，内圈与所述电机内转子连接。

作为优选方案，还包括：

下轴承组，具有第一下轴承和第二下轴承；所述第一下轴承的外圈与泵壳连接，内圈与所述电机外转子连接；所述第二下轴承的外圈与所述电机外转子连接，内圈与所述电机内转子连接。

作为优选方案，所述泵壳包括：上壳体和下壳体；所述上壳体和所述下壳体之间通过第一连接件连接。

作为优选方案，所述上壳体和所述下壳体之间设置有密封圈。

作为优选方案，所述泵壳和所述分子泵外转子之间设置密封机构；所述密封机构为磁流体密封；磁流体密封的磁极片固定于泵壳的内圈的顶部，磁流体悬浮于磁极片和分子泵外转子的外圈之间。

作为优选方案，还包括：

泵底盖，设置在泵壳的底部；所述泵底盖与所述泵壳的底部通过第二连接件连接；所述双转子电机设置在所述泵底盖上。

本发明技术方案，具有如下优点：

1.本发明提供的分子泵，分子泵内转子和分子泵外转子在驱动机构的驱动下沿相反的方向转动；通过分子泵内转子和分子泵外转子向相反的发向转动，提升了分子泵内转子和分子泵外转子的相对运动速度，即相对传统的分子泵的分子泵内转子和分子泵外转子速度翻倍，有效的提高分子泵抽气速度、压缩比、极限真空度及前级耐压能力等真空性能，还具有结构紧凑，效率高，节能环保等优点。

2.本发明提供的分子泵，所述驱动机构为双转子电机；双转子电机具有2个机械轴，可以实现2个机械轴能量的独立传递。这种新型电机极大的减小了设备的体积和重量，提高了工作效率，能很好的满足节能和调速的要求，有着优越的运行性能。

3.本发明提供的分子泵，还包括：上轴承组和下轴承组；上轴承组和下轴承组实现了泵壳、电机内转子和电机外转子的连接。