[发明专利]一种掩膜版镀膜LCVD载气浓度调节与测量设备在审
| 申请号： | 202210826251.X | 申请日： | 2022-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN115165787A | 公开（公告）日： | 2022-10-11 |
| 发明（设计）人： | 王亚腾 | 申请（专利权）人： | 合肥清溢光电有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/3504 | 分类号： | G01N21/3504;G01N21/01 |
| 代理公司： | 合肥律众知识产权代理有限公司 34147 | 代理人： | 殷娟 |
| 地址： | 230000 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种掩膜版镀膜LCVD载气浓度调节与测量设备，包括载气气路D、调节气路C、工作气路B和测量气路E；载气气路D和调节气路C并接，工作气路B和测量气路E并接且均连接在载气气路D和调节气路C的输出端；所述测量气路E包括测量阀Z3和连接在测量阀Z3输出端的气体浓度测量装置5，本发明的掩膜版镀膜LCVD载气浓度调节与测量设备，利用朗伯比尔定律对载气中Cr(CO) |
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| 搜索关键词： | 一种 掩膜版 镀膜 lcvd 浓度 调节 测量 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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