[发明专利]一种掩膜版镀膜LCVD载气浓度调节与测量设备

权利要求书

1.一种掩膜版镀膜LCVD载气浓度调节与测量设备，其特征在于，包括并接且均与保护气罐(1)的出口连通的载气气路(D)和调节气路(C)，还包括工作气路(B)和测量气路(E)；所述工作气路(B)和测量气路(E)并接且均连接在载气气路(D)和调节气路(C)的输出端；

所述载气气路(D)包括与保护气罐(1)的出口连接的载气流量计(F1)和连接在载气流量计(F1)后部的含铬粉罐(2)；

所述调节气路(C)包括与保护气罐(1)的出口连接的调节气流量计(F2)；

所述工作气路(B)包括镀膜阀(Z1)和与镀膜阀(Z1)出口连接的掩膜版镀膜装置(4)；镀膜阀(Z1)的进口通过第一三通(B1)与含铬粉罐(2)的出口和调节气路(C)输出端连接；所述调节气路(C)输出端通过节流阀(Z2)与第一三通(B1)连接；

所述测量气路(E)包括测量阀(Z3)和连接在测量阀(Z3)输出端的气体浓度测量装置(5)；所述测量阀(Z3)的进口通过第二三通(B2)与载气气路(D)和调节气路(C)的输出端连接；

所述气体浓度测量装置包括一红外光源、光电倍增管检测器、由所述红外光源发射红外光的测量光路以及设置在测量光路中且被红外光穿过的气体管；所述红外光源和光电倍增管检测器分别设置在所述气体管的两侧，所述气体管上设置有测量气入口和测量气出口，经过测量阀(Z3)的测量气由所述测量气入口进入气体管，红外光源发射出的红外光被气体管内的测量气吸收后，剩余部分穿过所述气体管被所述光电倍增管检测器检测，光电倍增管检测器检测出透射光强；通过将红外光源发出的红外光的入射光强与透射光强做比值，获得被测量气吸光度；最后依据朗伯比尔定律，根据被测量气吸光度计算出测量气浓度。

2.根据权利要求1所述的掩膜版镀膜LCVD载气浓度调节与测量设备，其特征在于，所述测量光路包括第一测量光路和第二测量光路，气体管包括分别设置在第一测量光路和第二测量光路中的第一气体管和第二气体管，所述第一气体管和第二气体管参数相同；

所述红外光源后部依次设置有单色器、斩波器和第一半透半反镜，第一半透半反镜的透光路为第一测量光路，第一半透半反镜的反光路为第二测量光路；

第一测量光路中，所述第一气体管设置在第一半透半反镜的透光路上，第一气体管后部设置有第一平面镜，第一平面镜的反光路上设置有第二半透半反镜，所述光电倍增管检测器设置在第二半透半反镜的反光路上，第二半透半反镜将第一平面镜的反射光反射至光电倍增管检测器上；

第二测量光路中，第一半透半反镜的反射光路上设置有第二平面镜，第二气体管设置在第二平面镜的反射光路上，第二半透半反镜同时位于第二气体管的透光路上，第二半透半反镜透过第二气体管的透射光至光电倍增管检测器。

3.根据权利要求2所述的掩膜版镀膜LCVD载气浓度调节与测量设备，其特征在于，所述第一测量光路和第二测量光路中分别设置有第一遮光罩和第二遮光罩，所述第一遮光罩和第二遮光罩分别设置在第一气体管和第二气体管前部。

4.根据权利要求1所述的掩膜版镀膜LCVD载气浓度调节与测量设备，其特征在于，所述测量阀(Z3)的进口通过第二三通(B2)与调节气流量计(F2)出口和节流阀(Z2)远离第一三通(B1)端连接。