[发明专利]一种采用PVT法提纯氮化铝粉末的方法及装置有效
| 申请号： | 202210807563.6 | 申请日： | 2022-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN114873570B | 公开（公告）日： | 2022-09-27 |
| 发明（设计）人： | 王充;张童;常煜鹏;李晋闽 | 申请（专利权）人： | 山西中科潞安半导体技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | C01B21/072 | 分类号： | C01B21/072;C30B23/00;C30B29/40 |
| 代理公司： | 北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙) 11390 | 代理人： | 李莹 |
| 地址： | 046000 山西*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明属于半导体技术领域，涉及一种采用PVT法提纯氮化铝粉末的装置及方法，所述装置包括石墨坩埚（1），所述石墨坩埚（1）中设有多个安装孔（2），每个所述安装孔（2）中装入一个硬毡坩埚（3），每个所述硬毡坩埚（3）内装入一个金属坩埚（4）。所述方法采用所述装置来实现，包括将氮化铝粉末置入上述装置中，并经过高温除杂和粉末研磨进行提纯。采用上述技术方案可实现氮化铝AlN粉末纯化过程中的高效除杂、提高有效产出的技术效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 采用 pvt 提纯 氮化 粉末 方法 装置 | ||
【主权项】：
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