[发明专利]一种扫描电镜原位检测芯片的多功能多工位样品台在审
| 申请号： | 202210776466.5 | 申请日： | 2022-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN114975049A | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 廖洪钢;王喜民 | 申请（专利权）人： | 厦门超新芯科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20 |
| 代理公司： | 厦门市精诚新创知识产权代理有限公司 35218 | 代理人： | 刘建科 |
| 地址： | 362200 福建省厦门市火炬*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明提供一种扫描电镜原位检测芯片的多功能多工位样品台，包括样品台支架和芯片载台，所述样品台支架上设置有多个安装槽，所述芯片载台的数量为多个并分别可拆卸的装配于多个安装槽内；所述芯片载台包括载台座和装配于载台座上的载台电路板，所述载台座可拆卸的装配于安装槽内，并设置有用于贴装芯片的贴装区以及对应贴装区的观察窗。在进行操作时，可将不同类型的芯片分别贴装至多个芯片载台上，从而同时引入多个外场进行对比实验；实现单次多功能的检测，检测效率更高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扫描电镜 原位 检测 芯片 多功能 多工位 样品 | ||
【主权项】：
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