[发明专利]一种扫描电镜原位检测芯片的多功能多工位样品台

说明书

本发明提供一种扫描电镜原位检测芯片的多功能多工位样品台，包括样品台支架和芯片载台，所述样品台支架上设置有多个安装槽，所述芯片载台的数量为多个并分别可拆卸的装配于多个安装槽内；所述芯片载台包括载台座和装配于载台座上的载台电路板，所述载台座可拆卸的装配于安装槽内，并设置有用于贴装芯片的贴装区以及对应贴装区的观察窗。在进行操作时，可将不同类型的芯片分别贴装至多个芯片载台上，从而同时引入多个外场进行对比实验；实现单次多功能的检测，检测效率更高。

技术领域

本发明涉及扫描电镜原位表征领域，具体设计一种扫描电镜原位检测芯片的多功能多工位样品台。

背景技术

扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope,SEM)是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观形貌观察手段，可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像，观察各种试样凹凸不平表面的细微结构的优点。其样品载体样品台搭配原位检测芯片，可以使分辨率达到原子级，原位检测芯片可以集成物理、化学等功能，实现图案化、功能化，在分子生物、化工、医学半导体电子材料方面具有极高的应用价值。在扫描电镜中搭建可视化的窗口，引入比如热场、光场、电化学场等外场作用，对样品进行实时动态的原位观察。研究学者可以通过原位技术捕获样品对环境的动态感应，包括尺寸、形貌、晶体结构变化等重要信息。外场作用下材料在原子尺度的形态变化越来越成为材料研究和开发的根本。

目前用于扫描电镜原位样品检测都是单功能需要多次检测才能实现原位检测芯片，且只能实现引入一种外场作用，效率低下。

发明内容

为此，本发明为有效解决上述问题，提供一种扫描电镜原位检测芯片的多功能多工位样品台。

为实现上述目的，本发明提供的技术方案如下：

一种扫描电镜原位检测芯片的多功能多工位样品台，包括样品台支架和芯片载台，所述样品台支架上设置有多个安装槽，所述芯片载台的数量为多个并分别可拆卸的装配于多个安装槽内；所述芯片载台包括载台座和装配于载台座上的载台电路板，所述载台座可拆卸的装配于安装槽内，并设置有用于贴装芯片的贴装区以及对应贴装区的观察窗。

进一步的，所述载台座包括载台底座和芯片安装架，所述载台电路板装配于芯片安装架上，所述贴装区和观察窗均设置于芯片安装架上，所述芯片安装架可拆卸的装配于载台底座上，所述载台底座可拆卸的装配于安装槽内。

进一步的，所述芯片安装架包括第一支架和第二支架，所述贴装区形成于第一支架上，所述载台电路板封装于第一支架上，所述第二支架可拆卸的装配于第一支架上并装配有触针；所述第一支架可拆卸的装配于载台底座上。

进一步的，所述第一支架和第二支架上均开设有所述观察窗。

进一步的，所述载台座包括载台底座和盖板，所述载台底座设置有所述贴装区，所述载台电路板封装于载台底座上，所述盖板可拆卸的装配于载台底座上并开设有对应贴装区的所述观察窗以及用于连接载台电路板和芯片的触针。

进一步的，所述载台底座开设有让位载台电路板的导线穿过的让位槽。

进一步的，多个安装槽呈并排设置。

进一步的，多个安装槽等大。

进一步的，所述样品台支架包括样品台底座和盛样台，所述安装槽开设于盛样台的表面，所述盛样台可旋转的装配于样品台底座上。

进一步的，所述盛样台在位于安装槽的两侧凹陷设置有让位缺口。

进一步的，所述样品台底座的底部设置有燕尾槽。

通过本发明提供的技术方案，具有如下有益效果：