[发明专利]一种扫描电镜原位检测芯片的多功能多工位样品台在审
| 申请号： | 202210776466.5 | 申请日： | 2022-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN114975049A | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 廖洪钢;王喜民 | 申请（专利权）人： | 厦门超新芯科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20 |
| 代理公司： | 厦门市精诚新创知识产权代理有限公司 35218 | 代理人： | 刘建科 |
| 地址： | 362200 福建省厦门市火炬*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 扫描电镜 原位 检测 芯片 多功能 多工位 样品 | ||
1.一种扫描电镜原位检测芯片的多功能多工位样品台，其特征在于：包括样品台支架和芯片载台，所述样品台支架上设置有多个安装槽，所述芯片载台的数量为多个并分别可拆卸的装配于多个安装槽内；所述芯片载台包括载台座和装配于载台座上的载台电路板，所述载台座可拆卸的装配于安装槽内，并设置有用于贴装芯片的贴装区以及对应贴装区的观察窗。
2.根据权利要求1所述的扫描电镜原位检测芯片的多功能多工位样品台，其特征在于：所述载台座包括载台底座和芯片安装架，所述载台电路板装配于芯片安装架上，所述贴装区和观察窗均设置于芯片安装架上，所述芯片安装架可拆卸的装配于载台底座上，所述载台底座可拆卸的装配于安装槽内。
3.根据权利要求2所述的扫描电镜原位检测芯片的多功能多工位样品台，其特征在于：所述芯片安装架包括第一支架和第二支架，所述贴装区形成于第一支架上，所述载台电路板封装于第一支架上，所述第二支架可拆卸的装配于第一支架上并装配有触针；所述第一支架可拆卸的装配于载台底座上。
4.根据权利要求3所述的扫描电镜原位检测芯片的多功能多工位样品台，其特征在于：所述第一支架和第二支架上均开设有所述观察窗。
5.根据权利要求1所述的扫描电镜原位检测芯片的多功能多工位样品台，其特征在于：所述载台座包括载台底座和盖板，所述载台底座设置有所述贴装区，所述载台电路板封装于载台底座上，所述盖板可拆卸的装配于载台底座上并开设有对应贴装区的所述观察窗以及用于连接载台电路板和芯片的触针。
6.根据权利要求1所述的扫描电镜原位检测芯片的多功能多工位样品台，其特征在于：所述载台底座开设有让位载台电路板的导线穿过的让位槽。
7.根据权利要求1所述的扫描电镜原位检测芯片的多功能多工位样品台，其特征在于：多个安装槽呈并排设置。
8.根据权利要求1所述的扫描电镜原位检测芯片的多功能多工位样品台，其特征在于：多个安装槽等大。
9.根据权利要求1所述的扫描电镜原位检测芯片的多功能多工位样品台，其特征在于：所述样品台支架包括样品台底座和盛样台，所述安装槽开设于盛样台的表面，所述盛样台可旋转的装配于样品台底座上。
10.根据权利要求9所述的扫描电镜原位检测芯片的多功能多工位样品台，其特征在于：所述盛样台在位于安装槽的两侧凹陷设置有让位缺口。
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