[发明专利]搬运组件及成膜装置在审
| 申请号： | 202210747160.7 | 申请日： | 2022-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN115072369A | 公开（公告）日： | 2022-09-20 |
| 发明（设计）人： | 匡友元;曾苏伟 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | B65G47/91 | 分类号： | B65G47/91 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 杨瑞 |
| 地址： | 518132 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种搬运组件及成膜装置。该搬运组件包括支承件、连接件、拾取件及调压件，支承件具有第一侧；连接件设于第一侧和/或基板；拾取件设有拾取端，拾取端具有朝向第一侧活动的第一行程，以在第一行程中，拾取端带动基板活动至与第一侧共同连接在连接件的相对两端，拾取件设有贯穿拾取端的腔体；调压件调节腔体的内外气压以形成压差，以供压差驱动基板抵压连接件。本申请实现基板与支承件之间的初次连接和二次加强连接，避免基板与支承件在搬运过程中相分离而造成基板弯曲、脱落等产品不良，有助于稳定基板与支承件的搬运稳定性，且有助于整机结构简化。 | ||
| 搜索关键词： | 搬运 组件 装置 | ||
【主权项】：
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