[发明专利]搬运组件及成膜装置

权利要求书

1.一种搬运组件，其特征在于，包括：

支承件，具有第一侧；

连接件，用于设置在所述第一侧和/或基板；

拾取件，设有拾取端，所述拾取端具有朝向所述第一侧活动的第一行程，以在所述第一行程中，所述拾取端带动所述基板活动至与所述第一侧共同连接在所述连接件的相对两端，所述拾取件设有贯穿所述拾取端的腔体；以及，

调压件，用于调节所述腔体的内外气压以形成压差，以供所述压差驱动所述基板抵压所述连接件。

2.如权利要求1所述的搬运组件，其特征在于，所述支承件还具有与所述第一侧呈相对设置的第二侧，所述支承件设有贯通所述第一侧和所述第二侧的通孔；

所述拾取件穿设于所述通孔，所述拾取端伸出所述通孔至所述第一侧，且可朝向所述第二侧活动以进行所述第一行程；

所述调压件用于调节所述腔体内形成负压。

3.如权利要求2所述的搬运组件，其特征在于，所述腔体包括依次连通的第一腔段和第二腔段，所述第一腔段背对所述第二腔段的一侧贯穿所述拾取端设置；

所述第一腔段的通气截面积在远离所述第二腔段的方向上呈增大设置或者呈渐大设置。

4.如权利要求3所述的搬运组件，其特征在于，在所述拾取件完成所述第一行程时，所述拾取端与所述基板之间形成避让间隙；或者，

所述拾取件包括形成所述第一腔段的第一壳体，所述第一壳体呈弹性可形变设置。

5.如权利要求3所述的搬运组件，其特征在于，所述第二腔段的通气截面积在靠近所述第一腔段的方向上呈减小设置或者呈渐小设置。

6.如权利要求2所述的搬运组件，其特征在于，所述支承件在所述第一侧限定出用于对应所述基板的面板部位的功能区域；

所述通孔设于所述功能区域的旁侧。

7.如权利要求2所述的搬运组件，其特征在于，当连接在所述基板与所述第一侧之间时，所述连接件在所述第一侧的正投影与所述通孔邻近设置。

8.如权利要求2至7任一项所述的搬运组件，其特征在于，所述支承件自所述第一侧至所述第二侧的方向沿重力方向延伸设置。

9.如权利要求1所述的搬运组件，其特征在于，所述连接件为粘接件，和/或所述连接件设置在所述支承件。

10.一种成膜装置，其特征在于，包括如权利要求1至9任一项所述的搬运组件。