[发明专利]搬运组件及成膜装置

说明书

本申请公开了一种搬运组件及成膜装置。该搬运组件包括支承件、连接件、拾取件及调压件，支承件具有第一侧；连接件设于第一侧和/或基板；拾取件设有拾取端，拾取端具有朝向第一侧活动的第一行程，以在第一行程中，拾取端带动基板活动至与第一侧共同连接在连接件的相对两端，拾取件设有贯穿拾取端的腔体；调压件调节腔体的内外气压以形成压差，以供压差驱动基板抵压连接件。本申请实现基板与支承件之间的初次连接和二次加强连接，避免基板与支承件在搬运过程中相分离而造成基板弯曲、脱落等产品不良，有助于稳定基板与支承件的搬运稳定性，且有助于整机结构简化。

技术领域

本申请涉及显示面板技术领域，尤其涉及显示面板成膜技术领域，具体涉及一种搬运组件及成膜装置。

背景技术

平板显示产业作为电子信息产业的支柱产业之一，凭借其巨大的经济效应与产业集聚效应，对一个国家和地区技术、经济的发展至关重要。目前，较大尺寸的OLED(OrganicLight-Emitting Diode，有机发光半导体)在蒸镀成膜时，将支承件、基板及掩膜版叠加组合后进行移动成膜。在此过程中，基板一般通过粘胶粘贴在支承件上进行搬运。然而，由于基板与支承件之间容易出现粘贴不牢，导致基板容易弯曲或者脱离，降低产品的搬运稳定性。

发明内容

本申请实施例提供一种搬运组件及成膜装置，旨在解决由于基板与支承件之间连接强度低而导致出现基板弯曲或者脱落不良的问题。

本申请实施例提供一种搬运组件，包括：

支承件，具有第一侧；

连接件，用于设置在所述第一侧和/或基板；

拾取件，设有拾取端，所述拾取端具有朝向所述第一侧活动的第一行程，以在所述第一行程中，所述拾取端带动所述基板活动至与所述第一侧共同连接在所述连接件的相对两端，所述拾取件设有贯穿所述拾取端的腔体；以及，

调压件，用于调节所述腔体的内外气压以形成压差，以供所述压差驱动所述基板抵压所述连接件。

根据本申请一实施例，所述支承件还具有与所述第一侧呈相对设置的第二侧，所述支承件设有贯通所述第一侧和所述第二侧的通孔；

所述拾取件穿设于所述通孔，所述拾取端伸出所述通孔至所述第一侧，且可朝向所述第二侧活动以进行所述第一行程；

所述调压件用于调节所述腔体内形成负压。

根据本申请一实施例，所述腔体包括依次连通的第一腔段和第二腔段，所述第一腔段背对所述第二腔段的一侧贯穿所述拾取端设置；

所述第一腔段的通气截面积在远离所述第二腔段的方向上呈增大设置或者呈渐大设置。

根据本申请一实施例，在所述拾取件完成所述第一行程时，所述拾取端与所述基板之间形成避让间隙；或者，

所述拾取件包括形成所述第一腔段的第一壳体，所述第一壳体呈弹性可形变设置。

根据本申请一实施例，所述第二腔段的通气截面积在靠近所述第一腔段的方向上呈减小设置或者呈渐小设置。

根据本申请一实施例，所述支承件在所述第一侧限定出用于对应所述基板的面板部位的功能区域；

所述通孔设于所述功能区域的旁侧。

根据本申请一实施例，当连接在所述基板与所述第一侧之间时，所述连接件在所述第一侧的正投影与所述通孔邻近设置。

根据本申请一实施例，所述支承件自所述第一侧至所述第二侧的方向沿重力方向延伸设置。

根据本申请一实施例，所述连接件为粘接件，和/或所述连接件设置在所述支承件。

本申请实施例还提供一种成膜装置，包括搬运组件，所述搬运组件包括：