[发明专利]蒸发镀膜装置及其镀膜方法在审
| 申请号： | 202210719810.7 | 申请日： | 2022-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN114990493A | 公开（公告）日： | 2022-09-02 |
| 发明（设计）人： | 吕凯丽;赵利;孙帅;孙军旗;任宏志 | 申请（专利权）人： | 北海惠科半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/50 |
| 代理公司： | 深圳市百瑞专利商标事务所(普通合伙) 44240 | 代理人： | 邢涛 |
| 地址： | 536000 广西壮族自治区北海市工业园区北*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种蒸发镀膜装置，蒸发镀膜装置包括蒸镀腔体、蒸镀源、多个蒸镀锅、蒸镀锅公转驱动组件和蒸镀锅自转驱动组件；蒸镀源设置在蒸镀腔体的底部，蒸镀锅公转驱动组件设置在蒸镀腔体的顶部，驱动多个蒸镀锅围绕蒸镀源的中心线进行公转；蒸镀锅自转驱动组件的一端与蒸镀锅公转驱动组件连接，另一端与蒸镀锅传动连接，控制蒸镀锅进行自转；其中，蒸镀锅公转驱动组件和蒸镀锅自转驱动组件分别独立控制蒸镀锅的公转和自转。本申请通过设置直接与蒸镀锅连接的蒸镀锅自转驱动组件控制蒸镀锅进行自转，无需设置带动蒸镀锅自转的轨道，避免蒸镀锅转动时与轨道摩擦产生金属碎屑，降低产品的综合良率。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发 镀膜 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
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