[发明专利]体声波谐振器及其制作方法、滤波器以及多工器在审
| 申请号： | 202210701589.2 | 申请日： | 2022-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN114978091A | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 郝梁博;陈威佐;黄韦胜 | 申请（专利权）人： | 武汉光钜微电子有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/56;H03H9/58;H03H3/02 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 张雪;徐川 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市东湖高新技术开发区高新*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本公开实施例提供了一种体声波谐振器及其制作方法、滤波器以及多工器，所述体声波谐振器包括衬底；反射结构，位于所述衬底表面，其中，所述反射结构的截面垂直于所述衬底表面，所述截面包括相对设置的底边和顶边，以及连接所述底边和所述顶边的两个侧边，所述底边相对靠近所述衬底，每个所述侧边包括至少两段第一曲线，所述至少两段第一曲线不平行，每段所述第一曲线上各点的切线与所述底边所在平面的夹角满足：大于0°，且小于或等于45°；以及依次层叠设置的第一电极层、压电层和第二电极层，位于所述反射结构上。 | ||
| 搜索关键词： | 声波 谐振器 及其 制作方法 滤波器 以及 多工器 | ||
【主权项】：
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