[发明专利]体声波谐振器及其制作方法、滤波器以及多工器

说明书

本公开实施例提供了一种体声波谐振器及其制作方法、滤波器以及多工器，所述体声波谐振器包括衬底；反射结构，位于所述衬底表面，其中，所述反射结构的截面垂直于所述衬底表面，所述截面包括相对设置的底边和顶边，以及连接所述底边和所述顶边的两个侧边，所述底边相对靠近所述衬底，每个所述侧边包括至少两段第一曲线，所述至少两段第一曲线不平行，每段所述第一曲线上各点的切线与所述底边所在平面的夹角满足：大于0°，且小于或等于45°；以及依次层叠设置的第一电极层、压电层和第二电极层，位于所述反射结构上。

技术领域

本公开实施例涉及半导体领域，特别涉及一种体声波谐振器及其制作方法、滤波器以及多工器。

背景技术

随着无线通信需求的快速增长，现代无线通信技术推进了高频元件的相关发展，催生了更高频率的通信应用，带宽更大、数据更快的信号数据传输。体声波谐振器具有体积小、质量轻、插入损耗低、频带宽以及品质因子高等优点，并且其制备工艺可以与CMOS兼容，很好地适应了无线通信的发展需求，在无线通信系统方面具有广阔的应用前景。

发明内容

本公开实施例提供一种体声波谐振器及其制作方法、滤波器以及多工器。

根据本公开的第一个方面，提供了一种体声波谐振器，包括：

衬底；

反射结构，位于所述衬底表面，其中，所述反射结构的截面垂直于所述衬底表面，所述截面包括相对设置的底边和顶边，以及连接所述底边和所述顶边的两个侧边，所述底边相对靠近所述衬底，每个所述侧边包括至少两段第一曲线，所述至少两段第一曲线不平行，每段所述第一曲线上各点的切线与所述底边所在平面的夹角满足：大于0°，且小于或等于45°；以及，

依次层叠设置的第一电极层、压电层和第二电极层，位于所述反射结构上。

在一些实施例中，所述至少两段第一曲线均为线段；或者，

所述至少两段第一曲线均为弧线；或者，

所述至少两段第一曲线中，至少一段所述第一曲线为线段，其它所述第一曲线为弧线。

在一些实施例中，所述第一曲线包括线段，所述线段与所述底边所在平面的夹角满足：大于或等于5°，且小于或等于45°。

在一些实施例中，与所述底边相连接的所述线段与所述底边的夹角满足：大于或等于10°，且小于或等于25°。

在一些实施例中，与所述顶边相连接的所述线段与所述底边所在平面的夹角满足：大于或等于10°，且小于或等于25°。

在一些实施例中，所述第一曲线包括弧线，所述弧线上各点的切线与所述底边所在平面的夹角满足：大于或等于5°，且小于或等于45°。

在一些实施例中，所述弧线包括向所述衬底下凹的凹曲线，或者突出于所述衬底的凸曲线。

在一些实施例中，与所述底边相连接的所述弧线上各点的切线与所述底边所在平面的夹角满足：大于或等于10°，且小于或等于25°。

在一些实施例中，相邻两段所述第一曲线中，相对靠近所述底边的所述第一曲线上各点的切线与所述底边所在平面的夹角大于相对靠近所述顶边的所述第一曲线上各点的切线与所述底边所在平面的夹角；沿着从所述底边指向所述顶边的方向，所述至少两段第一曲线在所述衬底所在平面上的正投影长度逐渐增大；或者，

相邻两段所述第一曲线中，相对靠近所述底边的所述第一曲线上各点的切线与所述底边所在平面的夹角小于相对靠近所述顶边的所述第一曲线上各点的切线与所述底边所在平面的夹角；沿着从所述底边指向所述顶边的方向，所述至少两段第一曲线在所述衬底所在平面上的正投影长度逐渐减小。

在一些实施例中，所述侧边还包括：