[发明专利]体声波谐振器及其制作方法、滤波器以及多工器

权利要求书

1.一种体声波谐振器，其特征在于，包括：

衬底；

反射结构，位于所述衬底表面，其中，所述反射结构的截面垂直于所述衬底表面，所述截面包括相对设置的底边和顶边，以及连接所述底边和所述顶边的两个侧边，所述底边相对靠近所述衬底，每个所述侧边包括至少两段第一曲线，所述至少两段第一曲线不平行，每段所述第一曲线上各点的切线与所述底边所在平面的夹角满足：大于0°，且小于或等于45°；以及，

依次层叠设置的第一电极层、压电层和第二电极层，位于所述反射结构上。

2.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其特征在于，所述至少两段第一曲线均为线段；或者，

所述至少两段第一曲线均为弧线；或者，

所述至少两段第一曲线中，至少一段所述第一曲线为线段，其它所述第一曲线为弧线。

3.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其特征在于，所述第一曲线包括线段，所述线段与所述底边所在平面的夹角满足：大于或等于5°，且小于或等于45°。

4.根据权利要求3所述的体声波谐振器，其特征在于，与所述底边相连接的所述线段与所述底边的夹角满足：大于或等于10°，且小于或等于25°。

5.根据权利要求3所述的体声波谐振器，其特征在于，与所述顶边相连接的所述线段与所述底边所在平面的夹角满足：大于或等于10°，且小于或等于25°。

6.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其特征在于，所述第一曲线包括弧线，所述弧线上各点的切线与所述底边所在平面的夹角满足：大于或等于5°，且小于或等于45°。

7.根据权利要求6所述的体声波谐振器，其特征在于，所述弧线包括向所述衬底下凹的凹曲线，或者突出于所述衬底的凸曲线。

8.根据权利要求6所述的体声波谐振器，其特征在于，与所述底边相连接的所述弧线上各点的切线与所述底边所在平面的夹角满足：大于或等于10°，且小于或等于25°。

9.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其特征在于，相邻两段所述第一曲线中，相对靠近所述底边的所述第一曲线上各点的切线与所述底边所在平面的夹角大于相对靠近所述顶边的所述第一曲线上各点的切线与所述底边所在平面的夹角；沿着从所述底边指向所述顶边的方向，所述至少两段第一曲线在所述衬底所在平面上的正投影长度逐渐增大；或者，

相邻两段所述第一曲线中，相对靠近所述底边的所述第一曲线上各点的切线与所述底边所在平面的夹角小于相对靠近所述顶边的所述第一曲线上各点的切线与所述底边所在平面的夹角；沿着从所述底边指向所述顶边的方向，所述至少两段第一曲线在所述衬底所在平面上的正投影长度逐渐减小。

10.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其特征在于，所述侧边还包括：

第二曲线，所述第二曲线与所述底边平行，所述第二曲线位于相邻两段所述第一曲线之间。

11.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其特征在于，所述反射结构包括空腔或者布拉格反射层。

12.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其特征在于，所述反射结构包括交替层叠的第一反射栅和第二反射栅，其中，所述第一反射栅的对应所述侧边包括第一子曲线，所述第二反射栅对应的所述侧边包括第二子曲线，所述第一子曲线和所述第二子曲线不平行。

13.一种滤波器，其特征在于，包括一个或多个如权利要求1至12任一项所述的体声波谐振器。

14.一种多工器，其特征在于，包括一个或多个如权利要求13所述的滤波器。