[发明专利]一种晶片处理装置在审
| 申请号： | 202210687882.8 | 申请日： | 2022-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN115106329A | 公开（公告）日： | 2022-09-27 |
| 发明（设计）人： | 郑金龙;周铁军;马金峰;杨小丽 | 申请（专利权）人： | 广东先导微电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B3/10;B08B11/00;B08B11/02;B08B13/00;B65G47/74;F26B21/00 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 刘慧丽 |
| 地址： | 511517 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及晶片处理技术领域，公开了一种晶片处理装置，其包括若干清洗槽、烘干槽、转运装置、晶片固定装置以及控制器，晶片固定装置能够批量固定晶片，并通过转运装置将固定有晶片的晶片固定装置转运至清洗槽、烘干槽，快速的完成批量晶片的清洗和烘干处理，有效提升晶片的处理效率，达到流水化作业。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶片 处理 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于广东先导微电子科技有限公司，未经广东先导微电子科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210687882.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种用于海底油气作业的路由模块
- 下一篇：管道预处理装模器
