[发明专利]一种晶片处理装置

权利要求书

1.一种晶片处理装置，其特征在于，包括：

至少一个清洗槽，各所述清洗槽具有顶部开口的清洗腔；

烘干槽，所述烘干槽具有顶部开口的烘干腔；

烘干装置，所述烘干装置安装于所述烘干槽内用于烘干晶片；

转运装置，用以将晶片转运至所述清洗槽和所述烘干槽；

晶片固定装置，所述转运装置上安装有至少一个所述晶片固定装置，所述晶片固定装置包括卡塞机构和用于固定晶片的卡塞盒，所述卡塞机构设有若干个用于插接所述卡塞盒的插接槽；以及

控制器，所述控制器与所述转运装置电连接。

2.根据权利要求1所述的晶片处理装置，其特征在于：所述卡塞机构为柱状框体，所述卡塞机构上绕其轴线开设有若干所述插接槽，各所述插接槽沿所述卡塞机构的长度方向延伸设置。

3.根据权利要求1或2所述的晶片处理装置，其特征在于：各所述清洗槽包括外缸和套接在所述外缸内部的内缸，所述内缸具有所述清洗腔，所述内缸的底板或侧板上设置有出水口，所述外缸内设有过滤区，所述出水口流出的清洗液经所述过滤区后由泵体抽吸回所述内缸，形成循环水路；

所述泵体与所述控制器电连接。

4.根据权利要求3所述的晶片处理装置，其特征在于：所述内缸的上边沿悬挂设置在所述外缸的侧壁顶部，和/或在所述外缸底板上设置支撑件以支撑所述内缸。

5.根据权利要求1或2所述的晶片处理装置，其特征在于：所述烘干装置包括输气管，所述输气管设有进气口和排气口，所述进气口连接外部气源，所述排气口与所述烘干腔连通；

所述进气管上设有进气阀，所述进气阀与所述控制器电连接。

6.根据权利要求5所述的晶片处理装置，其特征在于：所述烘干槽开口端活动安装有盖合板，所述盖合板上开设有与所述烘干腔连通的通孔。

7.根据权利要求1所述的晶片处理装置，其特征在于：所述转运装置包括平移转运装置、升降转运装置；

所述平移转运装置沿水平方向设置于所述清洗槽和所述烘干槽的上方，并通过第一驱动件驱动所述平移转运装置的水平移动，其中，所述平移转运装置的移动轨迹覆盖所述烘干槽和所有所述清洗槽；

所述升降转运装置沿竖直方向设置于所述清洗槽的上方，所述升降转运装置的上端与所述平移转运装置连接，所述升降转运装置的下端与所述晶片固定装置连接，并通过第二驱动件驱动所述升降转运装置上下移动；

所述第一驱动件和所述第二驱动件与所述控制器电连接。

8.根据权利要求7所述的晶片处理装置，其特征在于：所述平移转运装置包括若干横纵交错的导轨，所述导轨上活动安装有至少一个滑块，各所述滑块上至少连接一个所述升降转运装置；

所述滑块与所述第一驱动件电连接。

9.根据权利要求7所述的晶片处理装置，其特征在于：所述晶片固定装置通过连接组件连接于所述转运装置上；

所述连接组件包括自上而下依次连接的连接杆、安装面板以及用于固定所述晶片固定装置的固定件；

所述连接杆的上端与所述升降转运装置的下端转动连接。

10.根据权利要求8所述的晶片处理装置，其特征在于：还包括柜体，所述柜体的内部设有空腔，所述柜体上开设有至少一个与所述空腔连通的通风口；

所述烘干槽和所有所述清洗槽水平排布于所述空腔内，所述导轨固定安装于所述柜体顶板的内侧面。