[发明专利]一种多层嵌套反射镜位姿的支撑型精密调整装置

摘要

本发明公开了一种多层嵌套反射镜位姿的支撑型精密调整装置，装置包括底架，转台，圆形底板，测量支架，四个非接触传感器，芯轴,反射镜,前辐板，调整组件，支撑组件。其中，调整组件由调整电机，调整联轴器，调整输出轴，连杆A，调整底板，调整锁紧扣，下楔面，上楔面，承载连接座，承载面，高精度力传感器，调整架，连杆B，连杆C，悬臂底座A，悬臂支撑A，微调整器A，立板，微调整器B，悬臂支撑B，悬臂底座B，悬臂梁组成，为杠杆式对称浮动支撑结构，用于实现对承载反射镜位姿的精密调整；支撑组件由支撑电机，支撑连接块，支撑联轴器，支撑底座，支撑台，支撑调整螺母，支撑锁紧螺母，支撑臂，收紧弹簧组成，用于实现对前辐板的稳定支撑；非接触传感器共有四个，从上往下依次安装在测量支架上，用于实现对旋转过程中相应器件外形面跳动的精准测量，从而计算出反射镜当前的位姿。该装置操作方便，能够实现对反射镜位姿的精准测量和精密调整，最终提高多层嵌套反射镜的装调精度。