[发明专利]一种多层嵌套反射镜位姿的支撑型精密调整装置

权利要求书

1.一种多层嵌套反射镜位姿的支撑型精密调整装置，其特征在于，包括底架(1)，转台(2)，圆形底板(3)，测量支架(4)，非接触传感器A(5)，非接触传感器B(6)，非接触传感器C(7)，非接触传感器D(8),芯轴(9),反射镜(10),前辐板(11)，调整组件(12)，支撑组件(13)；

所述调整组件(12)包括调整电机(121)，调整联轴器(122)，调整输出轴(123)，连杆A(124)，调整底板(125)，调整锁紧扣(126)，下楔面(127)，上楔面(128)，承载连接座(129)，承载面(1210)，高精度力传感器(1211)，调整架(1212)，连杆B(1213)，连杆C(1214)，悬臂底座A(1215)，悬臂支撑A(1216)，微调整器A(1217)，立板(1218)，微调整器B(1219)，悬臂支撑B(1220)，悬臂底座B(1221)，悬臂梁(1222)；其中，所述调整电机(121)通过调整联轴器(122)、调整输出轴(123)与上楔面(128)连接，所述调整锁紧扣(126)通过手动旋紧螺纹将调整底板(125)固定在下方的圆形底板(3)上，所述上楔面(128)位于下侧下楔面(127)和上侧承载面(1210)之间，所述承载面(1210)上侧安装有承载连接座(129)、高精度力传感器(1211)、调整架(1212)，所述高精度力传感器(1211)用来显示上侧承载的重量，所述承载连接座(129)通过连杆A(124)与立板(1218)相连，所述调整架(1212)通过连杆B(1213)、连杆C(1214)与立板(1218)相连，所述调整架(1212)通过销轴与悬臂梁(1222)相连,所述悬臂梁(1222)上两端对称安装着悬臂底座A(1215)，悬臂支撑A(1216)，微调整器A(1217)，微调整器B(1219)，悬臂支撑B(1220)，悬臂底座B(1221)，其中悬臂底座A(1215)和悬臂底座B(1221)可以沿着悬臂梁(1222)进行移动，便于对承载的反射镜(10)在两个悬臂支撑A(1216)和悬臂支撑B(1220)上的平衡，所述悬臂支撑A(1216)和悬臂支撑B(1220)通过螺纹连接在悬臂底座A(1215)和悬臂底座B(1221)上，通过位置的调整从而便于反射镜(10)精确放置于微调整器A(1217)、微调整器B(1219)上，所述微调整器A(1217)、微调整器B(1219)均采用压电陶瓷致动器，在末端装有夹持结构，用于实现对反射镜(10)位姿的径向微调节；

所述支撑组件(13)包括支撑电机(131)，支撑连接块(132)，支撑联轴器(133)，支撑底座(134)，支撑台(135)，支撑调整螺母(136)，支撑锁紧螺母(137)，支撑臂(138)，收紧弹簧(139)；所述支撑电机(131)输出动力通过支撑连接块(132)、支撑联轴器(133)推动支撑底座(134)沿水平运动，所述支撑连接块(132)、支撑底座(134)的下侧均为凸字形结构，安装在圆形底板(3)的凸字形沟槽中，所述支撑台(135)上侧为支撑的前辐板(11)，所述支撑调整螺母(136)用于调整支撑台(135)的竖直高度，对前辐板(11)的支撑调平，所述支撑锁紧螺母(137)用于在完成支撑调整螺母(136)的调整后对其进行锁紧，防止竖直高度发生变化，所述支撑臂(138)作为上侧调整结构的支撑，内部开有内螺纹并装有相关的螺柱，所述支撑连接块(132)和支撑底座(134)通过中间的收紧弹簧(139)进行连接，在进行不同径向尺寸调节的缩小过程中，时刻保证支撑连接块(132)和支撑底座(134)处于收紧状态，减小收紧间隙；

所述测量支架(4)底部安装固定在底架(1)上面，不随转台(2)进行周向转动；所述非接触传感器A(5)，非接触传感器B(6)，非接触传感器C(7)，非接触传感器D(8)依次竖直安装在测量支架(4)上，用于实现对转动过程中相应器件外形面跳动的精准测量，从而计算出反射镜(10)当前的位姿；其中最上侧为非接触传感器D(8)，用于测量在随转台(2)旋转过程中芯轴(9)顶端的外侧跳动，作为跳动的基准；中上侧为非接触传感器C(7)，安装于反射镜(10)上端面略微靠下处，用于测量反射镜(10)随转台(2)旋转过程中上部外形面的跳动；中下侧为非接触传感器B(6)，安装于反射镜(10)下端面略微靠上处，用于测量反射镜(10)随转台(2)旋转过程中下部外形面的跳动；最下侧为非接触传感器A(5)，用于测量随转台(2)旋转过程中圆形底板(3)外侧形面的跳动，作为转台(2)旋转过程中跳动的系统误差。