[发明专利]一种多层嵌套反射镜位姿的支撑型精密调整装置

说明书

本发明公开了一种多层嵌套反射镜位姿的支撑型精密调整装置，装置包括底架，转台，圆形底板，测量支架，四个非接触传感器，芯轴,反射镜,前辐板，调整组件，支撑组件。其中，调整组件由调整电机，调整联轴器，调整输出轴，连杆A，调整底板，调整锁紧扣，下楔面，上楔面，承载连接座，承载面，高精度力传感器，调整架，连杆B，连杆C，悬臂底座A，悬臂支撑A，微调整器A，立板，微调整器B，悬臂支撑B，悬臂底座B，悬臂梁组成，为杠杆式对称浮动支撑结构，用于实现对承载反射镜位姿的精密调整；支撑组件由支撑电机，支撑连接块，支撑联轴器，支撑底座，支撑台，支撑调整螺母，支撑锁紧螺母，支撑臂，收紧弹簧组成，用于实现对前辐板的稳定支撑；非接触传感器共有四个，从上往下依次安装在测量支架上，用于实现对旋转过程中相应器件外形面跳动的精准测量，从而计算出反射镜当前的位姿。该装置操作方便，能够实现对反射镜位姿的精准测量和精密调整，最终提高多层嵌套反射镜的装调精度。

技术领域

本发明属于光学器件精密调整领域，具体涉及一种多层嵌套反射镜位姿的支撑型精密调整装置。

背景技术

近几十年来多层嵌套反射镜由于其聚焦效率高、光学增益大的特点，成为深空探测中接收X射线光学镜头的核心结构件，国外已经开展了大量的相关研究。国内针对多层嵌套反射镜的研究尚处于起步阶段，所需相关的精密成品需要从国外进口，由于多层嵌套反射镜具有复杂的制造、装调、测试等工艺流程，需要分阶段、分步骤、分条件的去挨个突破。相关研究表明对于一体式的电铸镍型多层嵌套反射镜，其装调过程的好坏很大程度上决定了最终光学镜头的精度，但是由于单层反射镜属于薄片(几百微米厚)多层数(多达几十到上百层)器件，其在装调过程中的精度的检测及微调整成为关键，因此需要设计一套装调装置来解决调过程中遇到的问题，提高最终的多层嵌套反射镜的装调精度。

发明内容

有鉴于此，本发明提供了一种多层嵌套反射镜位姿的支撑型精密调整装置，该装置能够实现对反射镜面形轮廓的检测、反射镜位姿的微调整，且该装置操作方便，调整精度高。

本发明的技术方案为：一种多层嵌套反射镜位姿的支撑型精密调整装置，包括：底架，转台，圆形底板，测量支架，四个非接触传感器，芯轴,反射镜,前辐板，调整组件，支撑组件。

其整体位置关系为：调整组件和支撑组件安装在圆形底板上；前辐板由支撑组件负责支撑；反射镜由调整组件负责调整；芯轴穿过前辐板底部中心安装在圆形底板上；圆形底板安装在转台上；转台安装在底架上；四个非接触传感器从上往下依次安装在测量支架上；测量支架安装在底架上。

所述调整组件由调整电机，调整联轴器，调整输出轴，连杆A，调整底板，调整锁紧扣，下楔面，上楔面，承载连接座，承载面，高精度力传感器，调整架，连杆B，连杆C，悬臂底座A，悬臂支撑A，微调整器A，立板，微调整器B，悬臂支撑B，悬臂底座B，悬臂梁组成；该组件有三套，周向均布安装在圆形底板上，可以依据反射镜的径向规格调整，用于实现对反射镜的微调整。

所述支撑组件由支撑电机，支撑连接块，支撑联轴器，支撑底座，支撑台，支撑调整螺母，支撑锁紧螺母，支撑臂，收紧弹簧组成；该组件有三套，周向均布安装在圆形底板上，可以依据前辐板的径向规格调整，用于实现对前辐板的稳定支撑。

所述位非接触传感器共有四个，从上往下依次安装在测量支架上，最上侧为非接触传感器D，用于测量芯轴顶端；中上侧为非接触传感器C，用于测量反射镜上部外形面；中下侧为非接触传感器B，用于测量反射镜下部外形面；最下侧为非接触传感器D，用于测量圆形底板外侧形面跳动。

所述圆形底板安装在转台上，可以随转台做循环周向转动，其端面开有六道凸字形沟槽，便于上面承载器件的固定。

所述芯轴通过前辐板底部的中心孔安装在圆形底板上，随着圆形底板做循环周向运动。

所述反射镜经过调整组件装调后靠胶接固定在前辐板的齿槽内。

基于上述基本技术方案，本发明还作出如下优化限定：