[发明专利]校正方法以及物品制造方法在审
| 申请号： | 202210595578.0 | 申请日： | 2022-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN115437223A | 公开（公告）日： | 2022-12-06 |
| 发明（设计）人： | 茂泉纯 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 程晨 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及校正方法以及物品制造方法。提供校正利用照明光学系统对掩模进行照明并利用投影光学系统将掩模的图案投影到基板的曝光装置中的投影光学系统的光学特性的校正方法。校正方法具有：测量工序，通过在照明光学系统的瞳面上形成光强度分布A，测量投影光学系统的光学特性；以及校正工序，通过在照明光学系统的瞳面上形成与光强度分布A不同的光强度分布B，对投影光学系统进行加热，校正投影光学系统的光学特性，在校正工序中，根据测量工序中的测量结果来决定利用光强度分布B对投影光学系统进行加热时的光强度分布B的照射条件，在光强度分布B的所决定的照射条件下对投影光学系统进行加热，校正投影光学系统的光学特性。 | ||
| 搜索关键词： | 校正 方法 以及 物品 制造 | ||
【主权项】：
暂无信息
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