[发明专利]三维存储器、其制作方法及具有其的存储系统

摘要

本申请提供了一种三维存储器、其制作方法及具有其的存储系统。该制作方法包括：提供衬底，衬底上的堆叠体包括沿远离衬底的方向交替层叠的多层牺牲层和多层隔离层，堆叠体的至少一端具有台阶结构，台阶结构远离衬底的一侧具有多个第一台阶面，每层牺牲层具有远离衬底的第一表面，第一台阶面一一对应地位于第一表面中；在堆叠体中除台阶结构以外的区域形成贯穿至衬底的沟道阵列，并形成穿过各第一台阶面至衬底的伪沟道孔；在伪沟道孔的底部形成支撑层，伪沟道孔中除支撑层之外的区域构成接触孔，各接触孔分别贯穿一层牺牲层；将牺牲层置换为控制栅结构，以及在接触孔中形成导电通道，以使控制栅结构与导电通道电连接。上述方法降低了工艺难度。