[发明专利]一种芯片光刻设备有效
| 申请号： | 202210548641.5 | 申请日： | 2022-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN114895539B | 公开（公告）日： | 2023-06-30 |
| 发明（设计）人： | 吕波;胡超;周沃坤 | 申请（专利权）人： | 珠海市科迪电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 牛丽霞 |
| 地址： | 519000 广东省珠海市斗门*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种芯片光刻设备，旨在提供一种加工效率高及能够降低劳动强度的芯片光刻设备。本发明包括曝光机构至少一个光刻模组，所述光刻模组包括粗定位机构、精定位机构、印制找平机构、过渡台及下料中转台，所述粗定位机构及所述下料中转台均与上下料机构配合，所述粗定位机构、所述精定位机构、所述过渡台及所述下料中转台围设于双爪旋转取放料机构的外部，所述印制找平机构可移动至所述精定位机构处，所述印制找平机构及所述精定位机构可同时移动至所述曝光机构处。本发明应用于光刻机的技术领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 芯片 光刻 设备 | ||
【主权项】：
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