[发明专利]化学气相沉积炉

摘要

本申请涉及化学气相沉积炉制造技术领域，尤其涉及一种化学气相沉积炉，包括炉体、位于所述炉体内的石墨加热体、环绕于所述石墨加热体侧部的保温周套和位于所述石墨加热体底部下方的保温底托，所述保温周套和所述保温底托均位于所述保温炉体内。如此设置，通过在石墨加热体的四周和下方设置保温周套和保温底托，既能起到承托石墨加热体的作用，又能防止石墨加热体产出的热能向远离高温腔的方向传导，增加了热场的保温效果，降低热量的损失，进一步提高了能量的利用率和设备的生产产能，降低了生产成本。