[发明专利]化学气相沉积炉

权利要求书

1.一种化学气相沉积炉，其特征在于，包括炉体(1)、位于所述炉体(1)内的石墨加热体(2)、环绕于所述石墨加热体(2)侧部的保温周套(4)和位于所述石墨加热体(2)底部下方的保温底托(3)，所述保温周套(4)和所述保温底托(3)均位于所述保温炉体(1)内。

2.根据权利要求1所述的化学气相沉积炉，其特征在于，所述保温周套(4)内嵌于所述炉体(1)的侧壁，所述保温底托(3)内嵌于所述炉体(1)的底壁。

3.根据权利要求2所述的化学气相沉积炉，其特征在于，所述炉体(1)包括第一侧壁和位于所述第一侧壁内侧的第二侧壁，所述保温周套(4)内嵌在所述第一侧壁和所述第二侧壁之间。

4.根据权利要求3所述的化学气相沉积炉，其特征在于，所述第一侧壁与所述第二侧壁之间的间隙沿远离所述炉体(1)的底壁的方向递增，所述石墨加热体(2)内嵌于所述第二侧壁内。

5.根据权利要求1所述的化学气相沉积炉，其特征在于，所述保温周套(4)设置为多孔莫来石材质。

6.根据权利要求1所述的化学气相沉积炉，其特征在于，所述保温底托(3)设置为多孔莫来石材质。

7.根据权利要求1或2所述的化学气相沉积炉，其特征在于，所述炉体(1)与所述保温周套(4)通过定位销(5)连接，所述定位销(5)穿设于所述保温周套(4)和所述炉体(1)的侧壁。

8.根据权利要求7所述的化学气相沉积炉，其特征在于，所述定位销(5)设置为氮化硼材质。