[发明专利]化学气相沉积炉

说明书

本申请涉及化学气相沉积炉制造技术领域，尤其涉及一种化学气相沉积炉，包括炉体、位于所述炉体内的石墨加热体、环绕于所述石墨加热体侧部的保温周套和位于所述石墨加热体底部下方的保温底托，所述保温周套和所述保温底托均位于所述保温炉体内。如此设置，通过在石墨加热体的四周和下方设置保温周套和保温底托，既能起到承托石墨加热体的作用，又能防止石墨加热体产出的热能向远离高温腔的方向传导，增加了热场的保温效果，降低热量的损失，进一步提高了能量的利用率和设备的生产产能，降低了生产成本。

技术领域

本申请涉及化学气相沉积炉制造技术领域，更具体地说，涉及一种化学气相沉积炉。

背景技术

化学气相沉积(CVD)是将含有原材料组分的源气体输入CVD沉积炉，通过扩散和对流等机理沉积在预制件上沉积一层固态薄膜并生成成品的工艺过程。在CVD工艺中，CVD沉积炉结构对沉积效率和沉积品质有很大影响。其中，高熔点物质能够在低温下合成；析出物质的形态在单晶、多晶、晶须、粉末、薄膜等多种；不仅可以在基片上涂层，而且可以在粉体表面涂层等。特别是在低温下可以合成高熔点物质，在节能方面做出了贡献。

随着现代工业的高速发展，各个行业对加热温度和稳定性的要求也越来越高。目前一些结构石墨加热体保温密封性差，炉芯两侧以及底部这几处的热量损失比较大，在正常情况下炉芯两侧以及底部的温度低于中间的温度，如果保温效果不好则炉温差异会更大。

发明内容

为至少在一定程度上克服相关技术中存在的问题，本申请的目的在于提供一种化学气相沉积炉，通过在石墨加热体的四周和下方，设置保温底托和保温周套，既能起到承托石墨加热体的作用，又能防止石墨加热体的热能向远离高温腔的方向传导，增加了热场的保温效果，降低了热量的损失，进一步提高了能量的利用率。本申请提供的诸多技术方案中的优选技术方案所能产生的诸多技术效果详见下文阐述。

本申请提供了一种化学气相沉积炉，包括炉体、位于所述炉体内的石墨加热体、环绕于所述石墨加热体侧部的保温周套和位于所述石墨加热体底部下方的保温底托，所述保温周套和所述保温底托均位于所述保温炉体内。

优选地，所述保温周套内嵌于所述炉体的侧壁，所述保温底托内嵌于所述炉体的底壁。

优选地，所述炉体包括第一侧壁和位于所述第一侧壁内侧的第二侧壁，所述保温周套内嵌在所述第一侧壁和所述第二侧壁之间。

优选地，所述第一侧壁与所述第二侧壁之间的间隙沿远离所述炉体的底壁的方向递增，所述石墨加热体内嵌于所述第二侧壁内。

优选地，所述保温周套设置为多孔莫来石材质。

优选地，所述保温底托设置为多孔莫来石材质。

优选地，所述炉体与所述保温周套通过定位销连接，所述定位销穿设于所述保温周套和所述炉体的侧壁。

优选地，所述定位销设置为氮化硼材质。

本申请提供的技术方案可以包括以下有益效果：

如此设置，通过在石墨加热体的四周和下方设置保温周套和保温底托，既能起到承托石墨加热体的作用，又能防止石墨加热体产出的热能向远离高温腔的方向传导，增加了热场的保温效果，降低热量的损失，进一步提高了能量的利用率和设备的生产产能，降低了生产成本。

应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本申请。

附图说明

此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本申请的实施例，并与说明书一起用于解释本申请的原理。