[发明专利]一种能实现水冷却循环降温的单晶炉底盘设备及其使用方法在审
| 申请号： | 202210537709.X | 申请日： | 2022-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN114990701A | 公开（公告）日： | 2022-09-02 |
| 发明（设计）人： | 倪建刚 | 申请（专利权）人： | 倪建刚 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00 |
| 代理公司： | 上海创开专利代理事务所(普通合伙) 31374 | 代理人： | 张佑富 |
| 地址： | 311199 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及单晶炉部件领域，具体公开了一种能实现水冷却循环降温的单晶炉底盘设备及其使用方法，包括底盘，底盘上设有降温通道，第一出水口连接降温装置，降温装置包括降温桶、电机和沿着降温桶从上至下依次分布的螺旋散热区、控水吸热区、摆动散热区、换气喷水区以及填料区以及蓄水池；降温桶的顶部设有顶盖，所述电机固定于顶盖上；电机具有穿过顶盖内延伸至螺旋散热区、控水吸热区、摆动散热区、换气洒水区以及填料区、蓄水区的电机轴；整个散热过程只用到了一个电机即可实现了水罩旋转甩水、摆动盘摆动冷却水，洒水管旋转洒水，气泵抽取降温桶内的空气并排出降温桶外、弹性填料的折叠或者展开改变水的流动路径等等。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 实现 水冷 循环 降温 单晶炉 底盘 设备 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
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