[发明专利]一种能实现水冷却循环降温的单晶炉底盘设备及其使用方法

说明书

本发明涉及单晶炉部件领域，具体公开了一种能实现水冷却循环降温的单晶炉底盘设备及其使用方法，包括底盘，底盘上设有降温通道，第一出水口连接降温装置，降温装置包括降温桶、电机和沿着降温桶从上至下依次分布的螺旋散热区、控水吸热区、摆动散热区、换气喷水区以及填料区以及蓄水池；降温桶的顶部设有顶盖，所述电机固定于顶盖上；电机具有穿过顶盖内延伸至螺旋散热区、控水吸热区、摆动散热区、换气洒水区以及填料区、蓄水区的电机轴；整个散热过程只用到了一个电机即可实现了水罩旋转甩水、摆动盘摆动冷却水，洒水管旋转洒水，气泵抽取降温桶内的空气并排出降温桶外、弹性填料的折叠或者展开改变水的流动路径等等。

技术领域

本发明涉及单晶炉部件领域，尤其是涉及一种能实现水冷却循环降温的单晶炉底盘设备及其使用方法。

背景技术

单晶炉底盘上安装电极，给加热器提供电源，中部有一个通孔，用来安装石墨托杆，和下轴相连，可以提供升降和旋转。

现有的单晶炉底盘冷却方法是通水降温，实现单晶炉底盘的冷却，例如专利号为ZL201420763082.0。目前单晶炉底盘存在缺点：水无法及时冷却回收，无法实现多步骤快速降温，而且整个降温过程使用成本高。

发明内容

为了解决上述问题，本发明提供了一种低成本，多步骤快速降温，能实现水冷却循环降温的单晶炉底盘设备。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种能实现水冷却循环降温的单晶炉底盘设备，包括底盘，所述底盘上设有降温通道，降温通道一端连接第一进水口，一端连接第一出水口,所述第一出水口连接降温装置，该降温装置包括降温桶、电机和沿着降温桶从上至下依次分布的螺旋散热区、控水吸热区、摆动散热区、换气喷水区以及填料区以及蓄水池；

所述降温桶的顶部设有顶盖，所述电机固定于顶盖上；所述电机具有穿过顶盖内延伸至螺旋散热区、控水吸热区、摆动散热区、换气洒水区以及填料区、蓄水区的电机轴；

所述螺旋散热区包括与降温桶内壁连接的散热盘，散热盘的顶部形成螺旋形的散热槽、设于散热槽外圈上方的进水管、设于螺旋槽中心的第二出口及水罩，该进水管穿出顶盖连接第一出水口，所述电机轴穿出第二出水口固定连接水罩，所述水罩罩设于第二出水口处，水罩外壁分布第一孔；

所述控水吸热区包括连接于水罩底部的第一弹簧、连接第一弹簧底部的控水盘、套设于控水盘外围的外环套，该外环套固定于降温桶内壁，所述电机轴穿出控水盘，且控水盘外侧壁形成上小下大的第一圆台面，所述外环套内壁也呈圆台形，且与第二圆台面配合，第一圆台面和第二圆台面之间形成第一间隙；

所述摆动散热区包括摆动盘，位于摆动盘上方的聚水套、设于摆动盘底面第一磁块、至少两个均匀分布在摆动盘外圈的第二弹簧；第二弹簧连接降温桶和摆动盘，所述聚水套内侧壁形成上大下小的圆台形引水壁，聚水套连接于降温通桶内壁；所述摆动盘呈中间下凹圆弧形，聚水套底部延伸至摆动盘内，摆动盘内壁从内向外依次分布三角凸环，该三角凸环的横截面呈三角形，三角凸环的两侧壁向中心内凹；所述摆动盘的中心设供电机轴穿出并自由旋转的第三出水口；

所述换气洒水区包括开口正对第三出水口的集水槽、连通集水槽下部外围洒水管、套设于集水槽上部外围的反应板以及设于反应板上的第二磁块，该第二磁块与第一磁块对应，该集水槽套设于电机轴外；所述反应板的底面设有环形的第一轨迹槽，第一轨迹槽沿周向形成波浪形，该第一轨迹槽位于电机轴外围；所述降温桶内壁还设置有气泵，该气泵具有伸入第一轨迹槽、并能沿第一轨迹槽移动的气泵轴，连接气泵轴的气泵体，所述气泵体上位于降温桶内的设有进气口和穿出降温桶外的出气口。