[发明专利]一种能实现水冷却循环降温的单晶炉底盘设备及其使用方法

权利要求书

1.一种能实现水冷却循环降温的单晶炉底盘设备，包括底盘(1)，所述底盘(1)上设有降温通道，降温通道一端连接第一进水口，一端连接第一出水口(11),其特征在于：所述第一出水口(11)连接降温装置，该降温装置包括降温桶(2)、电机(9)和沿着降温桶(2)从上至下依次分布的螺旋散热区(3)、控水吸热区(4)、摆动散热区(5)、换气喷水区(6)以及填料区(7)以及蓄水池(8)；

所述降温桶(2)的顶部设有顶盖(21)，所述电机(9)固定于顶盖(21)上；所述电机(9)具有穿过顶盖(21)内延伸至螺旋散热区(3)、控水吸热区(4)、摆动散热区(5)、换气洒水区(6)以及填料区(7)、蓄水区(8)的电机轴(91)；

所述螺旋散热区(3)包括与降温桶(2)内壁连接的散热盘(31)，散热盘(31)的顶部形成螺旋形的散热槽(32)、设于散热槽(32)外圈上方的进水管(33)、设于螺旋槽(32)中心的第二出口(34)及水罩(35)，该进水管(33)穿出顶盖(21)连接第一出水口(11)，所述电机轴(91)穿出第二出水口(34)固定连接水罩(35)，所述水罩(35)罩设于第二出水口(34)处，水罩(35)外壁分布第一孔；

所述控水吸热区(4)包括连接于水罩(35)底部的第一弹簧(44)、连接第一弹簧(44)底部的控水盘(41)、套设于控水盘(41)外围的外环套(42)，该外环套(42)固定于降温桶(2)内壁，所述电机轴(91)穿出控水盘(41)，且控水盘(41)外侧壁形成上小下大的第一圆台面(41a)，所述外环套(42)内壁也呈圆台形，且与第二圆台面(42a)配合，第一圆台面(41a)和第二圆台面(42a)之间形成第一间隙(43)；

所述摆动散热区(5)包括摆动盘(51)，位于摆动盘(51)上方的聚水套(52)、设于摆动盘(51)底面第一磁块(53)、至少两个均匀分布在摆动盘(51)外圈的第二弹簧(54)；第二弹簧(54)连接降温桶(2)和摆动盘(51)，所述聚水套(52)内侧壁形成上大下小的圆台形引水壁(52a)，聚水套(52)连接于降温通桶(2)内壁；所述摆动盘(51)呈中间下凹圆弧形，聚水套(52)底部延伸至摆动盘(51)内，摆动盘(51)内壁从内向外依次分布三角凸环(51a)，该三角凸环(51a)的横截面呈三角形，三角凸环(51a)的两侧壁向中心内凹；所述摆动盘(51)的中心设供电机轴穿出并自由旋转的第三出水口(51c)；

所述换气洒水区(6)包括开口正对第三出水口(51c)的集水槽(61)、连通集水槽(61)下部外围洒水管(62)、套设于集水槽上部外围的反应板(63)以及设于反应板上的第二磁块(64)，该第二磁块(64)与第一磁块(53)对应，该集水槽(61)套设于电机轴(91)外；所述反应板(63)的底面设有环形的第一轨迹槽(65)，第一轨迹槽(65)沿周向形成波浪形，该第一轨迹槽(65)位于电机轴(91)外围；所述降温桶(2)内壁还设置有气泵(22)，该气泵(22)具有伸入第一轨迹槽(65)、并能沿第一轨迹槽(65)移动的气泵轴(22a)，连接气泵轴(22a)的气泵体(22b)，所述气泵体上位于降温桶(2)内的设有进气口(22c)和穿出降温桶(2)外的出气口(22d)。

2.根据权利要求1所述的能实现水冷却循环降温的单晶炉底盘设备，其特征在于：所述填料区(7)包括折叠架(71)、沿折叠架(71)竖直方向平行分布的网板(76)，连接相邻网板(76)的弹性填料(72)，套设于电机轴(91)外的轨迹套(73)、连接于降温桶(2)内壁的竖直滑槽(74)；所述轨迹套(73)的外壁设有螺旋线的第二轨迹槽(75)，所述折叠架(71)底部固定于降温桶(2)内，折叠架(71)顶部两侧设有凸柱，其中一侧的凸柱位于第二轨迹槽(75)内，另一侧的凸柱位于竖直滑槽(74)内。

3.根据权利要求2所述的能实现水冷却循环降温的单晶炉底盘设备，其特征在于：所述第一磁块(53)为两个，且磁极相同，并对立设置于摆动盘底面；所述第二磁块(64)为1个，第一磁块(53)和第二磁块(64)磁极相同。

4.根据权利要求3所述的能实现水冷却循环降温的单晶炉底盘设备，其特征在于：所述顶盖(21)上设有散热孔(21a)，所述电机轴(91)穿入顶盖内连接第一风扇(92)，所述电机轴(91)位于轨迹套(73)的正下方设有第二风扇(93)。