[发明专利]一种HJT异质结太阳能电池薄膜生产设备及工艺

摘要

本发明公开了一种HJT异质结太阳能电池薄膜生产设备及工艺，包括正面设备组件，所述正面设备组件包括正面进出口腔与正面传输腔，所述正面传输腔侧面设置有正面i层腔与正面P层腔；反面设备组件，所述反面设备组件包括反面进出口腔与反面传输腔，所述反面传输腔侧面设置有反面i层腔与反面N层腔；翻转腔，所述翻转腔将正面传输腔与反面传输腔连接，所述翻转腔内对太阳能电池片进行翻片。本发明能够根据对太阳能电池片的异质结薄膜制备工艺要求，合理配置正面i层腔、正面P层腔、反面i层腔以及反面N层腔的数量，能够使太阳能电池片在镀膜过程中，匹配度更好更高。