[发明专利]一种HJT异质结太阳能电池薄膜生产设备及工艺

说明书

本发明公开了一种HJT异质结太阳能电池薄膜生产设备及工艺，包括正面设备组件，所述正面设备组件包括正面进出口腔与正面传输腔，所述正面传输腔侧面设置有正面i层腔与正面P层腔；反面设备组件，所述反面设备组件包括反面进出口腔与反面传输腔，所述反面传输腔侧面设置有反面i层腔与反面N层腔；翻转腔，所述翻转腔将正面传输腔与反面传输腔连接，所述翻转腔内对太阳能电池片进行翻片。本发明能够根据对太阳能电池片的异质结薄膜制备工艺要求，合理配置正面i层腔、正面P层腔、反面i层腔以及反面N层腔的数量，能够使太阳能电池片在镀膜过程中，匹配度更好更高。

技术领域

本发明属于太阳能电池薄膜生产技术领域，尤其涉及一种HJT异质结太阳能电池薄膜生产设备及工艺。

背景技术

HJT异质结太阳能电池的基本原理是在N型硅片基底上采用非晶硅沉积的方式形成异质结并作为钝化层，这种结构的电池开路电压更高，效率也会相应的比较高。而HJT异质结太阳能电池薄膜制备过程复杂，需要多种工艺及相关设备的配合。

目前对于HJT异质结太阳能电池薄膜的制备，电池正面i层及P层镀膜时间较短，而反面i层、N层镀膜时间较长，因在实际生产中电池正反面为分开镀膜，而工艺腔在镀膜时各膜层工艺腔不能通用，导致工艺匹配度不好。

另外电池片正反面分开镀膜，正面镀膜完成后，须返回大气，翻片完成后，再进入设备中进行反面镀膜，导致电池片有一定污染，降低了电池片的光电转换效率。

发明内容

本发明克服了现有技术的不足，提供一种HJT异质结太阳能电池薄膜生产设备及工艺，以解决现有技术中存在的问题。

为达到上述目的，本发明采用的技术方案为：一种HJT异质结太阳能电池薄膜生产设备，包括

正面设备组件，所述正面设备组件包括正面进出口腔与正面传输腔，所述正面传输腔侧面设置有正面i层腔与正面P层腔，所述正面i层腔对太阳能电池片正面进行i层镀膜，所述正面P层腔对太阳能电池片正面进行p层镀膜；

反面设备组件，所述反面设备组件包括反面进出口腔与反面传输腔，所述反面传输腔侧面设置有反面i层腔与反面N层腔，所述反面i层腔对太阳能电池片反面进行i层镀膜，所述反面N层腔对太阳能电池片反面进行N层镀膜；

翻转腔，所述翻转腔将正面传输腔与反面传输腔连接，所述翻转腔内对太阳能电池片进行翻片。

本发明一个较佳实施例中，所述正面进出口腔与所述正面传输腔内部相连通，太阳能电池片经正面进出口腔进入正面传输腔内。

本发明一个较佳实施例中，所述反面进出口腔与所述反面传输腔内部连通，太阳能电池片经反面进出口腔进入反面传输腔内。

本发明一个较佳实施例中，所述正面传输腔与所述反面传输腔内均设置有真空传输手臂，所述真空传输手臂对太阳能电池片进行抓取传输。

本发明一个较佳实施例中，所述正面设备组件、反面设备组件以及翻转腔内均为真空环境。

本发明还公开了一种HJT异质结太阳能电池薄膜生产工艺，包括以下步骤：

S1、将太阳能电池片送入正面进出口腔内，等候加工；

S2、对正面设备组件、反面设备组件以及翻转腔进行全线抽真空，保证各腔室内处于真空状态；

S3、正面传输腔内的真空传输手臂将太阳能电池片依次送入正面i层腔与正面P层腔，对太阳能电池片的正面进行镀膜；

S4、正面传输腔内的真空传输手臂将正面镀膜后的太阳能电池片送入翻转腔内，将处于正面的太阳能电池片翻转为反面；

S5、反面传输腔内的真空传输手臂将处于反面的太阳能电池片依次送入反面i层腔与反面N层腔内，对太阳能电池片的反面进行镀膜；